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2021 年度 実績報告書

ワイドギャップパワーデバイスの量子センシング技術の基盤構築

研究課題

研究課題/領域番号 18H01472
研究機関東京工業大学

研究代表者

岩崎 孝之  東京工業大学, 工学院, 准教授 (80454031)

研究分担者 波多野 睦子  東京工業大学, 工学院, 教授 (00417007)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2022-03-31
キーワード量子センサ / NVセンター / パワーデバイス
研究実績の概要

本研究は、ダイヤモンド中の複合欠陥をセンサとして用いることで、デバイス内部で発生する物理現象を直接捉えることを目的とする。本年度は、ダイヤモンドデバイス中の窒素-空孔(NV)センターの計測制御に関する研究を推進した。NVセンターのスピン状態は、通常、NVセンターからの蛍光を検出することで光学的に読み出しを行う。それに対し、レーザによって励起されたキャリアを電流として計測することで電気的に読み出すことも可能である。この電気的読み出しは、検出に光学素子を利用しないためにシステムの小型化に適しているということに加え、高精度リソグラフィによる電極形成と組み合わせることで高空間分解能計測につながるという利点がある。しかしながら、電気的検出には計測される電流が小さいという課題がある。本研究では、キャリアの増倍が可能なp-i-nダイオードを用いた高電界印加下における電気的検出を行った。使用したデバイスは、マイクロ波プラズマCVDにより高濃度ドーピングしたp層およびn層を選択合成することで形成したダイヤモンド横型p-i-nダイオードであり、デバイス内部にNVセンターが存在している。p-i-nダイオードへ印加する逆方向バイアスを増加させていくと、急激に電流が増加することを確認した。これは、レーザによって伝導帯に励起されたキャリアが高電界によってアバランシェ増倍を起こしているためであると考えられる。増倍によって光電流の大きさは1桁以上増加しており、小さな信号を大幅に増幅できている。本技術は、デバイス内部情報の電気的計測や高分解能計測の発展に貢献するものである。

現在までの達成度 (段落)

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2022 2021

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件) (うち招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Photoelectrical detection of nitrogen-vacancy centers by utilizing diamond lateral p-i-n diodes2021

    • 著者名/発表者名
      T. Murooka, M. Shiigai, Y. Hironaka, T. Tsuji, B. Yang, T. M. Hoang, K. Suda, K. Mizuno, H. Kato, T. Makino, M. Ogura, S. Yamasaki, M. Hatano, T. Iwasaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 118 ページ: 253502-1 - 7

    • DOI

      10.1063/5.0055852

    • 査読あり
  • [学会発表] ダイヤモンド量子技術2022

    • 著者名/発表者名
      岩﨑 孝之
    • 学会等名
      nano tech 2022
    • 招待講演
  • [学会発表] ダイヤモンドNV量子センサの基礎と応用2022

    • 著者名/発表者名
      岩﨑 孝之
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会 チュートリアル
  • [学会発表] 格子欠陥を用いたダイヤモンド量子技術2021

    • 著者名/発表者名
      岩崎 孝之
    • 学会等名
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第21回研究会
    • 招待講演

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公開日: 2022-12-28  

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