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2020 年度 研究成果報告書

深紫外プラズモニクスの基盤創成と高効率深紫外発光素子への応用

研究課題

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研究課題/領域番号 18H01903
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分30020:光工学および光量子科学関連
研究機関大阪府立大学

研究代表者

岡本 晃一  大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50467453)

研究分担者 藤田 静雄  京都大学, 工学研究科, 教授 (20135536)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワードプラズモニクス / 深紫外 / 酸化物半導体 / 発光素子 / 量子構造 / 金属ナノ構造 / 表面プラズモン / NHoM構造
研究成果の概要

プラズモニクスを利用して深紫外発光素子を高効率化するために、金属ナノ構造の表面プラズモン共鳴の深紫外波長域への拡張に成功した。電磁場解析計算、金属ナノ構造の作製、光学特性評価によって、200 nm付近の深紫外波長域を含む広い範囲での共鳴スペクトルを増強・先鋭化・制御することができた。ミストCVD装置を用いて、強い深紫外発光特性をもつ酸化物半導体の作製に成功した。LDLS白色光源を用いた深紫外発光評価装置を用いて、窒化物半導体および酸化物半導体の深紫外発光スペクトルの増強を観測・解析した。これらにより、深紫外プラズモニクスを創成し、高効率深紫外発光素子を開発・実現するための指針が得られた。

自由記述の分野

ナノ光学、プラズモニクス

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で確立した深紫外プラズモニクスは、殺菌・消毒、微細加工、光メモリー、医療応用等で重要な高効率深紫外LEDを実現に導くものである。また我々が構築したプラズモニクス技術は、光技術を空間限界,時間限界,波長限界といった様々な限界を超えて飛躍的に発展させる可能性を秘めている。よって高効率LEDのみならず、高効率太陽電池、無閾値ナノレーザー、超高解像イメージング、超高解像ナノ加工、超高感度センシング、超高密度メモリ、超高集積ナノ光回路など、様々な光技術を飛躍的に進歩させる可能性を秘めている。よって本研究成果は来るべき超スマート社会を支えるもので、学術的にも社会的にも有意義であると確信している。

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公開日: 2022-01-27  

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