研究課題
本研究は、生体埋植可能な刺入型イメージングデバイスにおいて高い蛍光検出感度を実現とすることを目的としている。本年度は、多数のデバイス上へのフィルタ転写のための手法開発を行った。 これまで、光源に用いるLEDの発光層および干渉フィルタの基板からの剥離の両方にレーザー剥離手法を用いてきた。しかし、干渉フィルタの剥離については、基板からの剥離を容易にする必要があり、成膜条件の制限が大きくなる。また、多数のデバイスを作製する場合、同時に一括して形成できることが望ましいが、面積を大きくする場合、剥離時にクラックが入りやすいという課題もあった。これに対し、代替手法として、昨年度よりエッチングを行う手法を検討した。Si基板上に干渉フィルタを形成し、従来同様に吸収フィルタを搭載したイメージセンサを接着する。その後SF6を用いたドライエッチングによってSi層を除去した。作製したデバイスは、レーザー剥離によって作製した場合と同様に、レンズレス構成で高い励起光除去性能を示すことが実証された。また、干渉フィルタをバンドパス構成とすることで、緑色蛍光タンパク質を導入した生体組織を観察した際に、自家蛍光成分を低減し、より明瞭な蛍光観察が可能であることを示した。デバイスに搭載する微小光源については、昨年度に開発したフィルタ構成を用いて実際に生体組織試料の観察を行い、透過型の配置でも蛍光観察が可能な高い性能を示すことを実証した。
令和2年度が最終年度であるため、記入しない。
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Electronics and Communications in Japan
巻: - ページ: -
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