研究課題
今年度は焼結AlN基板の高精度研磨プロセスの開発に取り組んだ。極低研磨圧力条件（0.8 kPa）にてプラズマ援用研磨を適用することで、スクラッチならびに脱粒ピットが無い表面が得られ、Sa 3 nmを達成した。また、AlNのプラズマ援用研磨において、ボンド剤の主成分がSiO2であるビトリファイドボンドのダイヤモンド砥粒砥石と基板の表面改質用のプロセスガスとしてCF4を含むプラズマを組み合わせると、基板の改質種であるフッ素ラジカルがボンド剤のSiO2を連続して微少量エッチングすることで自生作用が生じ、砥石表面の目詰まりや摩滅等により研磨能率が低下することなく、高能率研磨を持続できることがわかった。
令和2年度が最終年度であるため、記入しない。
すべて 2022 2021
すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 1件)
Diamond and Related Materials
巻: 124 ページ: 108899～108899
10.1016/j.diamond.2022.108899
Precision Engineering
巻: 72 ページ: 224～236
10.1016/j.precisioneng.2021.05.003
巻: 119 ページ: 108555～108555
10.1016/j.diamond.2021.108555
