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2020 年度 実績報告書

層状結晶性有機半導体を用いる全塗布型・超高精細TFTアレイの開発

研究課題

研究課題/領域番号 18H03875
研究機関東京大学

研究代表者

長谷川 達生  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (00242016)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワード有機半導体 / 薄膜トランジスタ / 半導体界面
研究実績の概要

本研究では、超高精細な金属電極配線の印刷が可能なスーパーナップ法と、優れた層状結晶性を示す有機半導体の統合と高度化により、全塗布型・高精細・高性能な薄膜トランジスタ(TFT)アレイの製造基盤の確立を目指した研究開発を行った。まず、スーパーナップ電極を用いたデバイス構造構築では、複雑な構造を有する高精細(400ppi)なTFTアレイ用電極をプラスチックシート上に高スループットで構築できることを確認した。次に、スーパーナップ法で用いる高撥液なCytop表面上への有機半導体の塗布製膜について、シャボン膜メカニズムをヒントに、製膜領域周縁にU字型電極パターンを形成し、これにより半導体液滴が薄く濡れ広がった状態を維持する仕掛けを考案した。これにより高均質な低分子系半導体結晶膜の塗布製膜に成功し、有機半導体・Ph-BTNT-Cnを用いたボトムゲート・ボトムコンタクト(BGBC)型TFTでは、スイッチングの急峻性を示すサブスレッショルド・スイング(SS)値が金電極の場合に平均67mV、塗布型電極では170mVの高急峻な立ち上がりと、4.9cm2/Vsの良好な移動度が得られることを確認した。さらに以上により構築したBGBC型TFTにおいて、類似の層状結晶性半導体であるPh-BTBT-Cn系などの他の有機半導体では、急峻スイッチングと高い移動度が両立しないデバイスが得られる場合があることが明らかになった。その原因を明らかにするため、スイッチング特性の分子積層数依存性などの詳細な測定を行い、絶縁層界面における高効率キャリア輸送と、電極界面における高効率キャリア注入が両立する機構について詳しく調べた。これらの結果をもとに高性能で高急峻なスイッチングを示すTFTを実現するための層状結晶性有機半導体の材料要件と、これら要件に深く関連する高温での液晶相発現等との相関について詳しく検討を行った。

現在までの達成度 (段落)

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (29件)

すべて 2020 その他

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (18件) (うち招待講演 1件) 備考 (2件) 産業財産権 (2件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Regioisomeric control of layered crystallinity in solution-processable organic semiconductors2020

    • 著者名/発表者名
      Inoue Satoru、Higashino Toshiki、Arai Shunto、Kumai Reiji、Matsui Hiroyuki、Tsuzuki Seiji、Horiuchi Sachio、Hasegawa Tatsuo
    • 雑誌名

      Chemical Science

      巻: 11 ページ: 12493~12505

    • DOI

      10.1039/D0SC04461J

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Meniscus-controlled printing of single-crystal interfaces showing extremely sharp switching transistor operation2020

    • 著者名/発表者名
      Gyo Kitahara, Satoru Inoue, Toshiki Higashino, Mitsuhiro Ikawa, Taichi Hayashi, Satoshi Matsuoka, Shunto Arai, and Tatsuo Hasegawa
    • 雑誌名

      Science Advances

      巻: 6 ページ: eabc8847:1-10

    • DOI

      10.1126/sciadv.abc8847

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Architecting layered molecular packing in substituted benzobisbenzothiophene (BBBT) semiconductor crystals2020

    • 著者名/発表者名
      Toshiki Higashino, Shunto Arai, Satoru Inoue, Seiji Tsuzuki, Yukihiro Shimoi, Sachio Horiuchi, Tatsuo Hasegawa, and Reiko Azumi
    • 雑誌名

      CrystEngComm

      巻: 22 ページ: 3618-3626

    • DOI

      10.1039/D0CE00285B

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct Preparation of Mixed Self-assembled Monolayers Based on Common-substructure-tailored Phosphonic Acids for Fine Control of Surface Wettability2020

    • 著者名/発表者名
      Toshiki Higashino, Kazunori Kuribara, Naoya Toda, Sei Uemura, Hiroaki Tachibana, and Reiko Azumi
    • 雑誌名

      Chemistry Letters

      巻: 49 ページ: 1302-1305

    • DOI

      10.1246/cl.200460

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Trap-state suppression and band-like transport in bilayer-type organic semiconductor ultrathin single crystals2020

    • 著者名/発表者名
      Takamasa Hamai, Satoru Inoue, Shunto Arai, and Tatsuo Hasegawa
    • 雑誌名

      Physical Review Materials

      巻: 4 ページ: 074601:1-8

    • DOI

      10.1103/PhysRevMaterials.4.074601

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anomalous Hydrodynamic Size Distributions of Alkylamine/Alkylacid-Encapsulated Silver Nanocolloids: Implications for Printing Ultrafine Conductive Patterns2020

    • 著者名/発表者名
      Taichi Hayashi, Yuya Hirakawa, Satoru Inoue, Shunto Arai, and Tatsuo Hasegawa
    • 雑誌名

      ACS Applied Nano Materials

      巻: 3 ページ: 6884-6891

    • DOI

      10.1021/acsanm.0c01240

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Layered‐Herringbone Polymorphs and Alkyl‐Chain Ordering in Molecular Bilayer Organic Semiconductors2020

    • 著者名/発表者名
      Shunto Arai, Kaede Morita, Junya Tsutsumi, Satoru Inoue, Mutsuo Tanaka, and Tatsuo Hasegawa
    • 雑誌名

      Advanced Functional Materials

      巻: 30 ページ: 1906406:1-10

    • DOI

      10.1002/adfm.201906406

    • 査読あり
  • [学会発表] 塗布型電子材料におけるクライオ電顕の活用2020

    • 著者名/発表者名
      長谷川達生
    • 学会等名
      東北大学多元研ソフトマテリアル研究拠点キックオフ・セミナー
    • 招待講演
  • [学会発表] 層状性・対称性にもとづくポリアセンの段階的結晶構造予測Ⅰ2020

    • 著者名/発表者名
      都築誠二、小山奏汰、下位幸弘、荒井俊人、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 層状性・対称性にもとづくポリアセンの段階的結晶構造予測Ⅱ2020

    • 著者名/発表者名
      小山奏汰、都築誠二、下位幸弘、荒井俊人、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] モノアルキルBTNT 系の置換位置異性による結晶構造制御とTFT 特性Ⅱ2020

    • 著者名/発表者名
      井上悟、東野寿樹、荒井俊人、熊井玲児、松井弘之、都築誠二、堀内佐智雄、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] モノアルキルBTNT 多結晶TFT における絶縁ポリマーブレンドを用いた特性向上とその起源2020

    • 著者名/発表者名
      宮田稜、井上悟、松岡悟志、荒井俊人、中嶋健、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 新規有機半導体PE-BTBT-Cnにおける層状構造制御とTFT 特性2020

    • 著者名/発表者名
      二階堂圭、北原暁、井上悟、東野寿樹、松岡悟志、荒井俊人、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] メニスカス制御による高撥液表面への単結晶塗布構築とTFT 高急峻スイッチング2020

    • 著者名/発表者名
      北原暁、井上悟、東野寿樹、井川光弘、松岡悟志、荒井俊人、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Ph-BTNT-Cn単結晶薄膜における異方的伝導特性の起源2020

    • 著者名/発表者名
      荒井俊人、井上悟、東野寿樹、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 高撥水な界面を用いたトラップレス有機FET におけるキャリア誘起巨大退色効果2020

    • 著者名/発表者名
      松岡悟志、堤潤也、長谷川達生
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] トラップレス単結晶有機FETにおける弱束縛励起子を介したキャリア誘起巨大退色効果2020

    • 著者名/発表者名
      松岡悟志、堤潤也、長谷川達生
    • 学会等名
      日本物理学会 2020年秋季大会
  • [学会発表] 有機半導体PE-BTBT-Cnにおける固相-液晶相間の競合と2次元キャリア輸送2020

    • 著者名/発表者名
      二階堂圭、北原暁、井上悟、東野寿樹、松岡悟志、荒井俊人、長谷川達生
    • 学会等名
      日本物理学会 第76回年次大会
  • [学会発表] 自由曲面上への高精細電子回路の全印刷製造技術の開発2020

    • 著者名/発表者名
      井川光弘、池戸裕明、永瀬和郎、佐々木実、長谷川達生
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] VUV 光照射したCytop ゲート絶縁層のエレクトレット効果とTFT 特性2020

    • 著者名/発表者名
      松岡悟志、太向弘明、堤潤也、長谷川達生
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] トリル基を置換した非対称BTBT 系有機半導体の層状結晶性と半導体特性2020

    • 著者名/発表者名
      井上悟、宮田稜、東野寿樹、田中睦生、荒井俊人、松岡悟志、堀内佐智雄、長谷川達生
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] PE-BTBT-Cn 層状結晶性有機半導体における配向秩序の競合とその制御2020

    • 著者名/発表者名
      井上悟、二階堂圭、東野寿樹、荒井俊人、田中睦生、堀内佐智雄、高場圭章、眞木さおり、米倉功治、瀬川泰知、熊井玲児、長谷川達生
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 層状有機半導体PE-BTBT-(Cn/Cm)混合系における相競合と半導体特性2020

    • 著者名/発表者名
      二階堂圭、井上悟、東野寿樹、松岡悟志、荒井俊人、長谷川達生
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 2分子膜型有機半導体におけるアルキル側鎖の再配列に伴う結晶多形転移2020

    • 著者名/発表者名
      荒井俊人、田中睦生、井上悟、近藤隆祐、熊井玲児、長谷川達生
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] モノアルキルBTNT 多結晶TFT における絶縁ポリマーブレンドを用いた特性向上とその起源II2020

    • 著者名/発表者名
      宮田稜、井上悟、松岡悟志、荒井俊人、中嶋健、長谷川達生
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [備考] 塗布型を開発~半導体結晶膜を高均質に塗布~

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=iNEZav4GmDY

  • [備考] 塗布で作ったトランジスタがスイッチング特性の理論限界に迫る

    • URL

      https://www.jst.go.jp/pr/announce/20201008-2/pdf/20201008-2.pdf

  • [産業財産権] 結晶構造推定方法、結晶構造推定装置、及び結晶構造推定プログラム2020

    • 発明者名
      長谷川達生、小山奏汰、井上悟、荒井俊人、都築誠二、下位幸弘
    • 権利者名
      国立大学法人東京大学、国立研究開発法人産業技術総合研究所
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2020-139341
  • [産業財産権] 半導体装置及びその製造方法2020

    • 発明者名
      長谷川達生、北原暁、井上悟、荒井俊人、井川光弘
    • 権利者名
      国立大学法人東京大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      PCT/JP2021/007036
    • 外国

URL: 

公開日: 2021-12-27  

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