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2021 年度 実績報告書

半導体イントラセンター・フォトニクスの開拓

研究課題

研究課題/領域番号 18H05212
研究機関大阪大学

研究代表者

藤原 康文  大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (10181421)

研究分担者 舘林 潤  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40558805)
市川 修平  大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 助教 (50803673)
芦田 昌明  大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 教授 (60240818)
佐藤 和則  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (60379097)
石原 一  大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 教授 (60273611)
研究期間 (年度) 2018-04-23 – 2023-03-31
キーワード希土類元素 / 内殻遷移 / フォトン場制御 / 発光ダイオード
研究実績の概要

【課題1】光励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓: <課題1-1>Eu添加GaNマイクロディスク光共振器に関する作製プロセスの最適化により、世界最高値である実測Q値9,680を実現した。Eu発光のPurcell効果による大幅な短寿命化(30 us)を観測した。 <課題1-2>Eu添加GaN 2次元フォトニック結晶光共振器において、Line-defect (LN)型に比べて、Hexagonal-defect (HN)型の共振器Q値が空気孔の形状不均一の影響を受けにくいことを明らかにした。H3型を作製し、共振器モードとEu発光のカップリングを観測した。 <課題1-3>Eu添加GaNにおいて、光学利得の波長依存性と一致したEu発光増強を観測し、Amplified Spontaneous Emissionの発生を実証した。
【課題2】電流励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓: <課題2-1>n型GaNを成長用基板として、Al0.18In0.82N /GaN DBRを有する垂直共振器型Eu添加GaNマイクロ光共振器LEDを作製し、75倍のEu発光増強を実現した。 <課題2-2>架橋構造を有する直上電極型Eu添加GaNマイクロディスク共振器LEDについて、電極形状と引き出し線幅がwhispering galleryモードに与える影響についてシミュレーションを行い、最適値を決定した。
【課題3】フルカラー化への展開と集積化: <課題3-1>Tm,Mg共添加AlxGa1-xNを発光層とするLEDにおいて、Tmイオンに起因する明瞭な青色発光を得ることに世界で初めて成功した。 <課題3-2>Tb添加母体をAlxGa1-xNにすることにより、光励起下で緑色発光を含む、Tbイオンに起因する明瞭な発光を観測した。LEDを試作し、電流注入下でTb発光の観測に世界で初めて成功した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

Eu添加GaNにおいて、光学利得スペクトルに対応したEu発光増強を観測し、Amplified Spontaneous Emissionの発生を世界で初めて実証したことは大きな一歩である。誘導放出の実現に向けて、フォトン場制御との融合が求められるが、その一つであるマイクロディスク光共振器において、プロセス技術の最適化により、GaN系光共振器では世界最高値の実測Q値を実現した。また、2次元フォトニック結晶光共振器において、空気孔構造の不均一の影響を受けにくい欠陥配置の設計が進んでおり、更なる高Q値を有する光共振器の実現が期待される。
一方、希土類添加半導体を用いた青色あるいは緑色LEDの実現に向けて、TmあるいはTbイオンの内殻遷移に起因する青色、緑色発光を光励起のみならず、電流注入下で観測することに世界で初めて成功しており、波長超安定光源として世界的に脚光を浴びている。

今後の研究の推進方策

実験および理論の両面からのこれまでの知見を結集し、フォトン場制御による究極的な希土類発光機能の実現可能性を 、「光励起下」はもちろんのこと、「電流励起下」で実証する。
【課題1】光励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓: <課題1-1>Eu添加GaN 2次元フォトニック結晶光共振器の作製とEu発光機能の評価:Euの光学利得に鑑み、共振器Q値が10,000を超える2次元フォトニック結晶光共振器を作製する。Purcell効果に起因する究極的なEu発光機能の発現を実証する。 <課題1-2>超構造を有するEu添加GaNにおけるEu発光増強の観測:理論に裏打ちされたEu添加層と無添加層からなる超構造を作製し、Euイオン間の相互作用による超蛍光の観測可能性に挑戦する。
【課題2】電流励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓: <課題2-1>垂直共振器型Eu添加GaNマイクロ光共振器LEDの作製とEu 発光機能の評価:導電性誘電体DBRを有するEu添加GaNマイクロ光共振器LEDを作製し、電流注入下での更なるEu発光増強を実現する。 <課題2-2>Eu添加GaNマイクロディスク共振器LEDの作製とEu発光機能の評価:光励起下で観測されたPurcell効果を電流注入下で実現する。
【課題3】フルカラー化への展開と集積化: <課題3-1>Tb添加GaNにおけるTb発光機能制御とLED化: Tb添加GaN LEDの更なる高輝度化と緑色発光の選択的抽出に取り組む。 <課題3-2>フルカラーLEDの集積化:既にInGaN量子井戸構造を発光層とする青色/緑色LEDとEu添加GaN赤色LEDの1チップ集積化に成功している。小型・超高精細マイクロLEDディスプレイへの応用を念頭に、チップサイズの微細化に取り組むとともに、緑色LEDをTb添加GaN LEDに置き換えた集積化LEDの実現可能性を明らかにする。

  • 研究成果

    (27件)

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (6件) (うち国際共著 1件、 査読あり 6件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 2件、 招待講演 8件) 備考 (4件) 産業財産権 (5件) (うち外国 2件) 学会・シンポジウム開催 (1件)

  • [国際共同研究] The University of Amsterdam(オランダ)

    • 国名
      オランダ
    • 外国機関名
      The University of Amsterdam
  • [国際共同研究] Lehigh University/West Chester University(米国)

    • 国名
      米国
    • 外国機関名
      Lehigh University/West Chester University
  • [国際共同研究] Hanyang University(韓国)

    • 国名
      韓国
    • 外国機関名
      Hanyang University
  • [雑誌論文] Nanorod photonic crystal ring resonators2022

    • 著者名/発表者名
      Timmerman Dolf、Iwaya Takenori、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 30 ページ: 3488~3488

    • DOI

      10.1364/OE.443080

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Modeling defect mediated color-tunability in LEDs with Eu-doped GaN-based active layers2022

    • 著者名/発表者名
      Austin Hayley J.、Mitchell Brandon、Timmerman Dolf、Tatebayashi Jun、Ichikawa Shuhei、Fujiwara Yasufumi、Dierolf Volkmar
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 131 ページ: 045701~045701

    • DOI

      10.1063/5.0077223

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Elucidation of the excitation mechanism of Tb ions doped in AlGaN grown by OMVPE toward a wavelength-stable green emitter2022

    • 著者名/発表者名
      Komai R.、Ichikawa S.、Hanzawa H.、Tatebayashi J.、Fujiwara Y.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 131 ページ: 073102~073102

    • DOI

      10.1063/5.0080269

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-Q 1D rod-based nanocavities2021

    • 著者名/発表者名
      Timmerman Dolf、Iwaya Takenori、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 46 ページ: 4260~4260

    • DOI

      10.1364/OL.434904

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design considerations of III-nitride-based two-dimensional photonic crystal cavities with crystallographically induced disorder2021

    • 著者名/発表者名
      Iwaya Takenori、Ichikawa Shuhei、Murakami Masato、Timmerman Dolf、Tatebayashi Jun、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 ページ: 122002~122002

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac3545

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Droop-free amplified red emission from Eu ions in GaN2021

    • 著者名/発表者名
      Takeo Atsushi、Ichikawa Shuhei、Maeda Shogo、Timmerman Dolf、Tatebayashi Jun、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 ページ: 120905~120905

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac3b88

    • 査読あり
  • [学会発表] Eu添加GaNからの赤色レーザ発振を目指して~フォトン場の制御~2022

    • 著者名/発表者名
      藤原康文、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第42回年次大会 シンポジウム「窒化物半導体レーザーダイオードの最前線 ~青,緑,深紫外,そして赤」
    • 招待講演
  • [学会発表] 超高精細マイクロLEDディスプレイの基幹技術としてのEu添加GaN赤色LED2022

    • 著者名/発表者名
      藤原康文、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤
    • 学会等名
      映像情報メディア学会情報ディスプレイ研究会ディスプレイ技術シンポジウム2022
    • 招待講演
  • [学会発表] Tb添加AlxGa1-xNを活性層に用いた超波長安定発光ダイオードの作製2022

    • 著者名/発表者名
      駒井亮太、市川修平、半澤弘昌、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] Purcell-effect-enhanced red emission from Eu ions in GaN cavities2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, D. Timmerman, S. Ichikawa, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      Laser Display and Lighting Conference 2021 (LDC2021)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Eu-doped GaN-based red LEDs as a key technology for micro-LED displays with ultrahigh resolution2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      28th International Display Workshops (IDW’21)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 小型・超高精細マイクロLEDディスプレイに資するEu添加GaN赤色LEDの新展開2021

    • 著者名/発表者名
      藤原康文、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤
    • 学会等名
      日本学術振興会第R025先進薄膜界面機能創成委員会第3回研究会「マイクロ LED 技術の現状と課題、最先端薄膜技術」
    • 招待講演
  • [学会発表] New development of Eu-doped GaN red LED for ultrahigh-resolution micro-LED display2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      40th Electronic Materials Symposium
    • 招待講演
  • [学会発表] 半導体イントラセンター・フォトニクスの開拓 ~Eu添加GaN赤色LEDの新展開~2021

    • 著者名/発表者名
      藤原康文、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤
    • 学会等名
      ワイドギャップ半導体学会第4回研究会「新領域レーザ、発光素子の進展、極限の追求と応用展開」
    • 招待講演
  • [備考] Development of Semiconductor Intracenter Photonics

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=G9fMdSX7n7k

  • [備考] 大阪大学藤原康文研究室

    • URL

      http://www.mat.eng.osaka-u.ac.jp/mse6/

  • [備考] 毎日新聞朝刊(2020/4/16)「LEDで狙う次世代ディスプレー」

    • URL

      https://mainichi.jp/articles/20200416/ddm/016/040/003000c

  • [備考] 日本経済新聞朝刊(2019/11/25)「阪大、同一基板で3色LED 次世代表示技術」

    • URL

      https://www.nikkei.com/article/DGKKZO52493160S9A121C1TJM000/

  • [産業財産権] 希土類添加半導体素子とその製造方法2021

    • 発明者名
      藤原康文、上村強、宮永和恒、神﨑伯夫
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2021-120455
  • [産業財産権] AlInN膜とその製造方法ならびに2次元フォトニック結晶共振器の製造方法2020

    • 発明者名
      藤原康文、稲葉智宏
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      7018217
  • [産業財産権] 窒化物半導体基板とその製造方法および半導体デバイス2019

    • 発明者名
      藤原康文、T. Gregorkiewicz等
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      US 11,133,435 B2
    • 外国
  • [産業財産権] AlInN膜および2次元フォトニック結晶共振器とこれらの製造方法ならびに半導体発光素子2019

    • 発明者名
      藤原康文、稲葉智宏
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      US11,075,322 B2
    • 外国
  • [産業財産権] 窒化物半導体基板とその製造方法および半導体デバイス2018

    • 発明者名
      藤原康文、T. Gregorkiewicz等
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      6876337
  • [学会・シンポジウム開催] The Second Joint Seminar at Advanced Nanomaterials Laboratory Between Osaka University and University of Amsterdam2022

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公開日: 2023-12-25  

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