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2022 年度 実績報告書

半導体イントラセンター・フォトニクスの開拓

研究課題

研究課題/領域番号 18H05212
研究機関大阪大学

研究代表者

藤原 康文  大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (10181421)

研究分担者 舘林 潤  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40558805)
市川 修平  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (50803673)
芦田 昌明  大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 教授 (60240818)
佐藤 和則  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (60379097)
石原 一  大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 教授 (60273611)
研究期間 (年度) 2018-04-23 – 2023-03-31
キーワード希土類元素 / 内殻遷移 / フォトン場制御 / 発光ダイオード
研究実績の概要

【課題1】光励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓: <課題1-1>Eu添加GaN 2次元フォトニック結晶光共振器の作製とEu発光機能の評価:更なる高Q値化に向けて、より高い設計Q値を有する2次元ヘテロ共振器を作製し、GaN系光共振器において世界最高値の実験Q値11,000を実証した。 <課題1-2>Eu添加GaN超構造におけるEu発光増強メカニズムの解明:Eu添加層と無添加層からなる超構造をテラヘルツ分光法により評価した結果、0.1%のEu添加により禁制帯幅が40 meV減少し、光励起キャリアの量子閉じ込めが生じることを明らかにした。
【課題2】電流励起下でのフォトン場制御によるEu発光機能の開拓: <課題2-1>垂直共振器型Eu添加GaNマイクロ光共振器LEDの作製とEu発光機能の評価:HfO2/TiO2およびAlInN/GaN導電性DBRを用いた垂直共振器LEDにおいて最大4.2倍の発光増強を実証した。 <課題2-2>Eu添加GaNマイクロディスク共振器LEDの作製とEu発光機能の評価:架橋構造を有する直上電極型Eu添加GaNマイクロディスク共振器LED構造に、金属配線と共振器との光学的相互作用を避けるためにSiO2スペーサを導入することにより、共振器モードと結合したEu発光を観測することに世界で初めて成功した。
【課題3】フルカラー化への展開と集積化: <課題3-1>Tb添加AlGaNにおけるTb発光機能制御とLED化: Tb添加AlGaN LEDにおいて、Al組成の増大とともにTb発光強度が増大すること、発光半値幅や発光波長が電流値に対して変化しないことを実証した。 <課題3-2>フルカラーLEDの集積化:既にInGaN量子井戸構造青色/緑色LEDとEu添加GaN赤色LEDの垂直積層集積化に成功している。最底面に位置する赤色LEDについて集積度1,000 PPIに迫るLEDアレイを実証した。

現在までの達成度 (段落)

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (48件)

すべて 2024 2023 2022 2019 2018 その他

すべて 国際共同研究 (4件) 雑誌論文 (12件) (うち国際共著 3件、 査読あり 12件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (25件) (うち国際学会 12件、 招待講演 25件) 備考 (3件) 産業財産権 (2件) 学会・シンポジウム開催 (2件)

  • [国際共同研究] Lehigh University/West Chester University(米国)

    • 国名
      米国
    • 外国機関名
      Lehigh University/West Chester University
  • [国際共同研究] University of Amsterdam(オランダ)

    • 国名
      オランダ
    • 外国機関名
      University of Amsterdam
  • [国際共同研究] Hanyang University(韓国)

    • 国名
      韓国
    • 外国機関名
      Hanyang University
  • [国際共同研究] VAST/HUST/Phenikaa University(ベトナム)

    • 国名
      ベトナム
    • 外国機関名
      VAST/HUST/Phenikaa University
  • [雑誌論文] An efficiently excited Eu3+ luminescent site formed in Eu,O-codoped GaN2024

    • 著者名/発表者名
      Iwaya Takenori、Ichikawa Shuhei、Dierolf Volkmar、Mitchell Brandon、Austin Hayley、Timmerman Dolf、Tatebayashi Jun、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 14 ページ: 025044~025044

    • DOI

      10.1063/5.0183774

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Enhanced light output of Eu, O-codoped GaN caused by reconfiguration of luminescent sites during post-growth thermal annealing2023

    • 著者名/発表者名
      Iwaya T.、Ichikawa S.、Timmerman D.、Tatebayashi J.、Fujiwara Y.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 122 ページ: 032102~032102

    • DOI

      10.1063/5.0136880

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Demonstration of GaN:Eu/GaN nanowire light emitting diodes grown by selective-area organometallic vapor phase epitaxy2023

    • 著者名/発表者名
      Otabara T.、Tatebayashi J.、Yoshimura T.、Timmerman D.、Ichikawa S.、Fujiwara Y.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 ページ: SG1018~SG1018

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acbb0f

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Red Electroluminescence from Light Emitting Diodes Based on Eu-Doped ZnO Embedded in p-GaN/Al2O3/n-ZnO Heterostructures2023

    • 著者名/発表者名
      Tatebayashi Jun、Nishimura Kazuto、Ichikawa Shuhei、Yamada Shinya、Nakajima Yoshikata、Sato Kazuhisa、Hamaya Kohei、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 12 ページ: 076017~076017

    • DOI

      10.1149/2162-8777/ace655

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Electrically driven europium-doped GaN microdisk2023

    • 著者名/発表者名
      Taniguchi T.、Timmerman D.、Ichikawa S.、Tatebayashi J.、Fujiwara Y.
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 48 ページ: 4590~4590

    • DOI

      10.1364/OL.494616

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation and Optical Characteristics of GaN:Eu/GaN Nanowires for Applications in Light-Emitting Diodes2023

    • 著者名/発表者名
      Tatebayashi Jun、Otabara Takaya、Yoshimura Takuma、Hada Raiki、Yoshida Ryo、Ichikawa Shuhei、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 12 ページ: 096003~096003

    • DOI

      10.1149/2162-8777/acf6ff

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Enhancement of Er luminescence from bridge-type photonic crystal nanocavities with Er, O-co-doped GaAs2023

    • 著者名/発表者名
      Fang Zhidong、Tatebayashi Jun、Homi Ryohei、Ogawa Masayuki、Kajii Hirotake、Kondow Masahiko、Kitamura Kyoko、Mitchell Brandon、Ichikawa Shuhei、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      Optics Continuum

      巻: 2 ページ: 2178~2178

    • DOI

      10.1364/OPTCON.501666

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Enhanced luminescence efficiency in Eu-doped GaN superlattice structures revealed by terahertz emission spectroscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Murakami Fumikazu、Takeo Atsushi、Mitchell Brandon、Dierolf Volkmar、Fujiwara Yasufumi、Tonouchi Masayoshi
    • 雑誌名

      Communications Materials

      巻: 4 ページ: s43246~s43246

    • DOI

      10.1038/s43246-023-00428-6

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] 情報ディスプレイ技術の研究開発動向2023

    • 著者名/発表者名
      石鍋隆宏、工藤幸寛、小村真一、奥村治彦、橋本圭介、山北裕文、藤原康文、浦岡行治、清水貴央、本村玄一、辻博史、薄井武順
    • 雑誌名

      映像情報メディア学会誌

      巻: 77 ページ: 199~211

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 希土類添加半導体ナノワイヤの結晶成長とデバイス応用2023

    • 著者名/発表者名
      舘林潤、藤原康文
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 92 ページ: 735~739

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation and optical characteristics of GaN:Eu/GaN core/shell nanowires grown by organometallic vapor phase epitaxy2022

    • 著者名/発表者名
      Otabara T.、Tatebayashi J.、Hasegawa S.、Timmerman D.、Ichikawa S.、Ichimiya M.、Ashida M.、Fujiwara Y.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 ページ: SD1022~SD1022

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac4e4c

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved Q-factors of III-nitride-based photonic crystal nanocavities by optical loss engineering2022

    • 著者名/発表者名
      Iwaya Takenori、Ichikawa Shuhei、Timmerman Dolf、Tatebayashi Jun、Fujiwara Yasufumi
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 30 ページ: 28853~28853

    • DOI

      10.1364/OE.460467

    • 査読あり
  • [学会発表] Hybrid Integration of Eu-Doped GaN and InGaN LEDs towards Ultrahigh Definition Micro LED Display2024

    • 著者名/発表者名
      S. Ichikawa, Y. Fujiwara, and K. Kojima
    • 学会等名
      16th International Conference on Advanced Plasma Science and Its Application to Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2024), Nagoya University, Nagoya, Japan, March 3-7 (2024).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] マイクロLEDディスプレイ実現に向けたGaN系RGB LEDのモノリシック集積と微細化に向けた展望2024

    • 著者名/発表者名
      市川雄平、藤原康文、小島一信
    • 学会等名
      電子情報通信学会発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会、(27)、龍谷大学響都ホール校友会館(ハイブリッド開催、京都市南区)、1月25-26日 (2024).
    • 招待講演
  • [学会発表] 小型・超高精細次世代マイクロLEDディスプレイの実現を目指して2024

    • 著者名/発表者名
      藤原康文
    • 学会等名
      大阪大学ナノ理工学人材育成産学コンソーシアム 令和5年度 第4回ナノ理工学情報交流会「次世代デバイスの潮流」、大阪大学豊中キャンパス、2月22日 (2024).
    • 招待講演
  • [学会発表] Towards ultrahigh-resolution micro-LED displays using a monolithic vertically stacked full-color LED2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2020, 12421-62, Moscone Center, San Francisco, USA, January 30-February 2 (2023).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Monolithic Vertically Stacked RGB LEDs for Small Micro-LED Displays with Ultrahigh Definition2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      2023 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2023), TE1-2, Civic Auditorium Sears Home Yume Hall, Kumamoto, Japan, April 19-22 (2023).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Towards small, ultrahigh-definition micro-LED displays using monolithic vertically stacked RGB LEDs2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      SID' Display Week Symposium, 37-4, Los Angeles Convention Center, Los Angels, USA, May 21-25 (2023).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Eu-doped GaN red LEDs as a key component for micro-LED displays with ultrahigh resolution2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials: Processing, Fabrication, Properties, Applications (Thermec2023), Vienna, Austria, July 2-7 (2023).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Semiconductors intra-center photonics2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara
    • 学会等名
      3rd International Conference on Dielectric Photonic Devices and Systems Beyond Visible (D-Photon2023), Bari, Italy, July 13-15 (2023).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Full-color LEDs on one chip as a key technology to realize small, ultrahigh-definition micro-LED displays2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara
    • 学会等名
      23rd International Meeting on Information Display (IMID2023), E13-1, BEXCO, Busan, Korea, August 22-25 (2023).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 小型・超高精細マイクロLEDディスプレイ実現の鍵を握るEu添加GaN赤色LEDの高輝度化に向けて2023

    • 著者名/発表者名
      藤原康文
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会シンポジウム「物質の超秩序構造とその応用~結晶と非結晶のはざまの科学~」、16p-A404-5 、上智大学四谷キャンパス(東京都千代田区)+オンライン、3月15-18日 (2023).
    • 招待講演
  • [学会発表] Eu添加GaNおよびInGaN量子井戸のハイブリッド積層による同一サファイア基板上フルカラーLEDの作製と室温動作2023

    • 著者名/発表者名
      市川修平、塩見圭史、森川隆哉、佐々木豊、Dolf Timmerman、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会、16p-B401-5 、上智大学四谷キャンパス(東京都千代田区)+オンライン、3月15-18日 (2023).(第44回応用物理学会優秀論文賞受賞記念講演)
    • 招待講演
  • [学会発表] 赤色マイクロLEDの大学発ベンチャーを目指して2023

    • 著者名/発表者名
      藤原康文
    • 学会等名
      第42回FPDフォーラム、ホテル日航プリンセス京都、京都市下京区、6月9日 (2023).
    • 招待講演
  • [学会発表] 次世代ディスプレイ実現に向けたEu添加GaNナノワイヤの結晶成長2023

    • 著者名/発表者名
      舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第15回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会、Fr-I03、山形テルサ、山形県山形市、6月15-17日 (2023).
    • 招待講演
  • [学会発表] Eu添加GaNの結晶成長とマイクロLEDディスプレイ用赤色LEDにむけた展開2023

    • 著者名/発表者名
      市川修平、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      日本学術振興会産業イノベーションのための結晶成長第R032委員会、第13回研究会「ディスプレイ用LEDおよび関連発光材料」、 ハイブリッド(名古屋市+オンライン)、7月7日 (2023).(招待講演)
    • 招待講演
  • [学会発表] Emissive, MicroLED, and Quantum-Dot Display2023

    • 著者名/発表者名
      藤原康文
    • 学会等名
      Display Week 2023報告会、オンライン、7月21日 (2023).
    • 招待講演
  • [学会発表] モノリシック垂直積層型RGB LEDを用いた小型・超高精細マイクロLEDディスプレイを目指して2023

    • 著者名/発表者名
      藤原康文、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤
    • 学会等名
      映像情報メディア学会情報ディスプレイ研究会「ディスプレイ一般」、(1)、オンライン、8月4日 (2023).
    • 招待講演
  • [学会発表] マイクロLED応用に向けたGaN系LEDの同一基板フルカラー集積と時間分解光電子分光法に基づく表面再結合評価の提案2023

    • 著者名/発表者名
      市川雄平、藤原康文、小島一信
    • 学会等名
      日本学術振興会光電相互変換第125委員会、第266回研究会「マイクロLEDに関する要素技術」、(1) 、明治大学駿河台キャンパス、9月29日 (2023).
    • 招待講演
  • [学会発表] Eu-doped GaN-based red LEDs for next-generation micro-LED displays2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      2022 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2022), TA1-1, Sapporo Community Plaza, Hokkaido (Hybrid conference), May 11-13 (2022).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Eu-doped GaN-based red LEDs for micro-LED displays with extremely high resolution2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      29th Workshop on Active-Matrix Flatpanel Display and Devices (AM-FPD 22), S2_2, Ryukoku University Avanti Kyoto Hall Kyoto, Kyoto, Japan (Hybrid conference), July 5-8 (2022).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Towards Next-Generation Micro-LED Displays Using Eu-Doped GaN2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2022), IT15, Berlin, Germany, October 9-14 (2022).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] GaN based (quasi-) 1D nanorod photonic resonators2022

    • 著者名/発表者名
      D. Timmerman, T. Iwaya, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      5th International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN2022), I127, Hanoi, Vietnam, November 16-19 (2022).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Towards Next-Generation Micro-LED Displays Using Eu-Doped GaN2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, S. Ichikawa, D. Timmerman, and J. Tatebayashi
    • 学会等名
      5th International Conference on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN2022), I150, Hanoi, Vietnam, November 16-19 (2022).
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Eu添加GaN赤色LEDの現状と超高精細マイクロLEDディスプレイ応用可能性2022

    • 著者名/発表者名
      藤原康文、市川修平、Dolf Timmerman、舘林潤
    • 学会等名
      応用物理学会結晶工学分科会第157回研究会、オンライン、6月1日 (2022).
    • 招待講演
  • [学会発表] Eu添加GaN赤色LEDの進展と2光子光電子分光法による表面再結合過程の直接評価の提案 ~マイクロLED素子応用に向けて~2022

    • 著者名/発表者名
      市川修平、藤原康文、小島一信
    • 学会等名
      Sophia Open Research Week 2021Sophia Open Research Week 2021 第3回半導体ナノフォトニクス研究会、上智大学四ツ谷キャンパス、東京都千代田区、11月23日 (2022).
    • 招待講演
  • [学会発表] 希土類添加半導体ナノフォトニクスの開拓2022

    • 著者名/発表者名
      舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第389回蛍光体同学会講演会、4、 日本弘道会ビル、東京都千代田区、11月25日 (2022).
    • 招待講演
  • [備考] 大阪大学 旧藤原康文研究室

    • URL

      http://www.mat.eng.osaka-u.ac.jp/mse06pyf/

  • [備考] Development of Semiconductor Intracenter Photonics

    • URL

      https://www.youtube.com/watch?v=G9fMdSX7n7k

  • [備考] HORIBA TALK「世界初!希土類添加半導体を使った赤色LED開発に成功」

    • URL

      https://www.horiba.com/jpn/company/about-horiba/three-business-fields/gan-leds/

  • [産業財産権] 表示装置およびその製造方法2019

    • 発明者名
      藤原康文、上野山雄、舘林潤、市川修平
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      7454854
  • [産業財産権] AlInN膜および2次元フォトニック結晶共振器とこれらの製造方法ならびに半導体発光素子2018

    • 発明者名
      藤原康文、稲葉智宏
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      7018217
  • [学会・シンポジウム開催] The Fourth Joint Seminar at Advanced Nanomaterials Laboratory Between Osaka University and University of Amsterdam2024

  • [学会・シンポジウム開催] The Third Joint Seminar at Advanced Nanomaterials Laboratory Between Osaka University and University of Amsterdam2023

URL: 

公開日: 2024-12-25  

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