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2018 年度 実績報告書

歪みSiGeスピンMOSFETの創製

研究課題

研究課題/領域番号 18J00502
研究機関大阪大学

研究代表者

山田 道洋  大阪大学, 基礎工学研究科, 特別研究員(SPD)

研究期間 (年度) 2018-04-25 – 2021-03-31
キーワードシリコン / ゲルマニウム / スピントロニクス / スピン伝導 / ホイスラー合金
研究実績の概要

本年度は,歪みSiGeスピンMOSFETの実現に向けて,強磁性/半導体界面特性の重要性を明らかにし,SiGeへのスピン注入・伝導ならびにSiGeチャネルを用いた磁気抵抗効果の実証を行なった.
初めに,強磁性ホイスラー合金/Ge界面を用いて強磁性/半導体界面の品質がスピン注入効率にどのように影響しているかを明らかにした.独自技術による原子レベルで界面制御した試料とアニールによりわざと界面を反応させた試料でスピン信号強度の比較を行なった.原子レベルで制御された界面のスピン信号は反応層が形成された界面に比べて信号が40倍程度大きく,高品質な界面の形成がスピン注入に非常に重要であることを実験的に明らかにした.
これまで,SiGeへのスピン注入・伝導の報告はなく,歪み無しSiGe中のスピン緩和時間,スピン拡散長などは明らかになっていなかった.そこで,歪み印可の効果を観測する前段階として,歪み無しSiGe中のスピン伝導特性を明らかにした.歪み無しSiGeをチャネルに用いた横型スピン伝導素子を作製し,非局所4端子スピン信号測定を行なった.注入効率に大きく影響する界面が最適化されていないため50 Kと低温ではあるが,スピン信号の観測に成功し,世界で初めてSiGe中のスピン注入・伝導・検出を実証した.実験で得られたスピン信号(Hanle信号)を解析することで,SiGe中のスピン緩和時間やスピン拡散長などの重要なパラメータも決定した.さらに,得られた知見と確立された技術を用いることで,スピンMOSFETの実現に不可欠な局所2端子測定による磁気抵抗変化をSiGe中において世界で初めて観測することに成功した.
以上の成果によりSiGe中のスピン伝導技術は確立され,今後,歪み印可SiGeチャネルを用いることと界面特性の最適化を行うことで室温での巨大磁気抵抗変化の観測が期待される.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

室温SiGeスピンMOSFETの実現には,室温でのスピン信号の巨大化が最も重要な課題の一つである.本年度の成果から強磁性体/半導体界面の重要性を明らかにし,その指針を得ることに成功した.また,低温ではあるが歪み無しSiGeへのスピン注入,伝導の観測にも成功し磁気抵抗変化の観測にも成功した.以上のことから,SiGeへのスピン注入・伝導の基盤技術を確立し室温スピン信号の巨大化への指針を得たため,「2 : おおむね順調に進展している」と判断した.

今後の研究の推進方策

今後は,得られた知見をもとに,強磁性ホイスラー合金/SiGe界面の高品質化を実現することで,スピン注入効率の向上,スピン信号の増大を目指す.高品質化を実現するために界面の反応を抑制する反応抑制層を導入する.その後得られた高品質界面を用いて,歪み印可SiGeへのスピン注入を行うことで室温付近でのスピン信号の観測をし,スピン緩和機構を明らかにする.これまで得られている歪み無しSiGeのスピン緩和時間,スピン拡散長を比較することで,歪みによる効果を検証する.さらに,SiGeのGe組成,歪み量などを変化させることで,歪みの効果を詳細に評価する.

  • 研究成果

    (20件)

すべて 2019 2018 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (7件) (うち国際共著 2件、 査読あり 7件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 8件、 招待講演 2件)

  • [国際共同研究] University of York(英国)

    • 国名
      英国
    • 外国機関名
      University of York
  • [雑誌論文] Room-temperature local magnetoresistance effect in n-Ge devices with low-resistive Schottky-tunnel contacts2019

    • 著者名/発表者名
      Tsukahara Makoto、Yamada Michihiro、Naito Takahiro、Yamada Shinya、Sawano Kentarou、Lazarov Vlado K.、Hamaya Kohei
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 12 ページ: 033002~033002

    • DOI

      https://doi.org/10.7567/1882-0786/ab0252

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Observation of local magnetoresistance signals in a SiGe-based lateral spin-valve device2018

    • 著者名/発表者名
      Yamada Michihiro、Naito Takahiro、Tsukahara Makoto、Yamada Shinya、Sawano Kentarou、Hamaya Kohei
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 33 ページ: 114009~114009

    • DOI

      https://doi.org/10.1088/1361-6641/aae34f

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Correlation between spin transport signal and Heusler/semiconductor interface quality in lateral spin-valve devices2018

    • 著者名/発表者名
      Kuerbanjiang B.、Fujita Y.、Yamada M.、Yamada S.、Sanchez A. M.、Hasnip P. J.、Ghasemi A.、Kepaptsoglou D.、Bell G.、Sawano K.、Hamaya K.、Lazarov V. K.
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 98 ページ: 115304-1~6

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.98.115304

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Spin transport and relaxation in germanium2018

    • 著者名/発表者名
      Hamaya Kohei、Fujita Yuichi、Yamada Michihiro、Kawano Makoto、Yamada Shinya、Sawano Kentarou
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 51 ページ: 393001~393001

    • DOI

      https://doi.org/10.1088/1361-6463/aad542

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Pure spin current transport in a SiGe alloy2018

    • 著者名/発表者名
      Naito Takahiro、Yamada Michihiro、Tsukahara Makoto、Yamada Shinya、Sawano Kentarou、Hamaya Kohei
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 11 ページ: 053006~053006

    • DOI

      https://doi.org/10.7567/APEX.11.053006

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Crystal orientation effect on spin injection/detection efficiency in Si lateral spin-valve devices2018

    • 著者名/発表者名
      Ishikawa Mizue、Tsukahara Makoto、Honda Syuta、Fujita Yuichi、Yamada Michihiro、Saito Yoshiaki、Kimura Takashi、Itoh Hiroyoshi、Hamaya Kohei
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 52 ページ: 085102~085102

    • DOI

      https://doi.org/10.1088/1361-6463/aaf37c

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local Magnetoresistance at Room Temperature in Si <100> Devices2018

    • 著者名/発表者名
      Ishikawa Mizue、Tsukahara Makoto、Yamada Michihiro、Saito Yoshiaki、Hamaya Kohei
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: 54 ページ: 1~4

    • DOI

      10.1109/TMAG.2018.2849753

    • 査読あり
  • [学会発表] Spin transport in Ge and SiGe2018

    • 著者名/発表者名
      M. Yamada, M. Tukahara, Y. Fujita, T. Naito, S. Yamada, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      CSRN-Osaka Annual Workshop 2018
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Local magnetoresistance effect at room temperature in Co2FeAlxSi1-x/n-Ge lateral spin-valve devices2018

    • 著者名/発表者名
      M. Yamada, M. Tukahara, T. Naito, Y. Fujita, S. Yamada, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      One-Day Symposium on Spintronics Properties of Graphene and Related 2D Materials
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrical spin injection and transport in a SiGe alloy2018

    • 著者名/発表者名
      M. Yamada, T. Naito, M. Tsukahara, S. Yamada, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      The 9th International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM)
    • 国際学会
  • [学会発表] Spin transport through Sb-doped n-Ge in vertical spin-valve devices2018

    • 著者名/発表者名
      T. Shiihara , M. Yamada, S. Sakai , M. Ikawa, S. Yamada, and K. Hamaya
    • 学会等名
      One-Day Symposium on Spintronics Properties of Graphene and Related 2D Materials
    • 国際学会
  • [学会発表] Low-resistance ferromagnet/germanium Schottky-tunnel contacts for spintronic applications2018

    • 著者名/発表者名
      K. Hamaya, T. Naito, M. Tsukahara, M. Yamada, and K. Sawano
    • 学会等名
      The Electrochemical Society, 2018 SiGe Symposium
    • 国際学会
  • [学会発表] Spin transport in a Ge-rich SiGe alloy2018

    • 著者名/発表者名
      T. Naito, M. Yamada, M. Tsukahara, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      2018 European Materials Research Society (E-MRS 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Large local magnetoresistance in Si<100> devices at room temperature2018

    • 著者名/発表者名
      M. Ishikawa, M. Tsukahara, M. Yamada, Y. Saito, and K. Hamaya
    • 学会等名
      INTERMAG 2018
    • 国際学会
  • [学会発表] Observation of local spin signals at room temperature in germanium lateral devices2018

    • 著者名/発表者名
      M. Tsukahara, M. Yamada, T. Naito, Y. Fujita, S. Yamada, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      INTERMAG 2018
    • 国際学会
  • [学会発表] Room-temperature spin transport in n-Ge probed by four-terminal nonlocal measurements2018

    • 著者名/発表者名
      M. Yamada, M. Tsukahara, Y. Fujita, T. Naito, S. Yamada, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      第79回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] Inverse local magnetoresistance in Heusler/SiGe lateral spin valve devices2018

    • 著者名/発表者名
      T. Naito, M. Yamada, M. Tsukahara, S. Yamada, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      平成30年度スピン変換年次報告会
  • [学会発表] Room-temperature local magnetoresistance effect in n-Ge lateral devices2018

    • 著者名/発表者名
      M. Tsukahara, M. Yamada, T. Naito, S. Yamada, K. Sawano, and K. Hamaya
    • 学会等名
      平成30年度スピン変換年次報告会
  • [学会発表] 反平行磁化配置が不安定なゲルマニウム横型スピンバルブ素子における非局所スピン伝導2018

    • 著者名/発表者名
      沖宗一郎 ,山田道洋,山田晋也,澤野憲太郎 ,浜屋宏平
    • 学会等名
      第42回日本磁気学会学術講演大会

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公開日: 2019-12-27  

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