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2020 年度 研究成果報告書

DLC膜の疲労強度に及ぼす膜内特性分布の影響解明-“超”寿命領域を目指して-

研究課題

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研究課題/領域番号 18K03906
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
研究機関同志社大学 (2019-2020)
京都工芸繊維大学 (2018)

研究代表者

中村 守正  同志社大学, 理工学部, 准教授 (00464230)

研究分担者 小畠 淳平  地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 和泉センター, 主任研究員 (00566424)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワード硬質皮膜 / ドライコーティング / 力学特性 / 破壊
研究成果の概要

本課題ではDLC膜の力学的特性や物性の分布を調査し,より高疲労強度を有するDLC膜形成のための指針を得ることを目的とした.繰返し押付け試験機は1号機,より利便性と問題点に対応した2号機,さらに低面圧ではあるがより高周波数で押付けが可能なボルト締めランジュバン型超音波振動子を用いた押付け試験機を新たに開発した.
試験後の圧痕において,複数の測定位置でのラマン分光分析の結果得られるラマンスペクトルのDピーク位置とGピーク位置の強度比と,Gピーク位置の変化の関係をグラフ化した.その結果,一見DLC膜が損傷していると判断される箇所でも実際には健全であると評価可能と判断される領域があることを見出した.

自由記述の分野

設計工学・機械要素・トライボロジー

研究成果の学術的意義や社会的意義

DLC膜の疲労強度と,膜に内在する力学的特性,物性の分布との相関性に着目したことが独自性である.この取り組みはDLC膜のみならず多くの硬質皮膜種にも有益な知見を与えると考えている.一方,将来,他種の皮膜において長寿命,高疲労強度を有する硬質皮膜が開発された場合にも,10の7乗回を超えるいわゆる超寿命領域での損傷形態を把握できる試験法が必要になる.このことから先行して試験法,評価法に着眼し,開発しておくことは独創的であり,学術的ばかりでなく工業的,社会的にも大きな波及効果が期待できる.

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公開日: 2022-01-27  

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