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まず、ナノステージのモデリングを数式化した。
そして、研究課題３（動的ヒステリシスモデルを入力側に含む動的システムに対して、動的ヒステリシスモデルの出力情報を使用せずに、グローバルシステムの入力・出力情報だけを用い、その非線形ロバスト適応制御法を設計する。特に、モデルの不確かさを持つ動的システムに対し、そのロバスト制御則を考察する。）で得られた結果をナノステージの出力位置決めサーボ制御へ応用し、計算機シミュレーションを行い、コントローラの最適パラメータを大まかに選定した。
それから、実験を行い、外部条件を変えながら、提案手法の有効性・ロバスト性・実用性を確認した。
さらに、従来の制御法と比較し、提案手法の利点・欠点を明らかにし、実応用を目指して調整し、より望ましい制御応答を得られるように研究をした。
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