単原子層薄膜を用いた無機有機超格子膜の開発

2020 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 18K04253
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 阿澄 玲子 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究部門長 (40356366)
• 研究分担者: 橘 浩昭 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ長 (10357428) ; 溝黒 登志子 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (90358101)
• 研究期間 (年度): 2018-04-01 – 2021-03-31
• キーワード: 層状化合物 / 単原子層薄膜 / ゲルマニウム / 無機有機ハイブリッド

研究実績の概要

本課題は、化学的な手法を用いてゲルマニウム層の間に「絶縁層」となる物質を導入することにより、高品質なゲルマニウム単原子層膜の積層膜を基板上に作製し、ゲルマニウム層を究極的に薄くすることに由来する物性を活かした電子デバイスの部材とすることを目標とするものである。令和２年度は、より均質な薄膜の作製条件を見出すために液相剥離の効率の向上を目標とし、長さの異なるアルキル基を有するヨウ化物を同時に導入するなどの検討を行った。X線薄膜回折の結果などから、長さの異なるアルキル基の層間への同時導入は認められ、ゲルマニウム層の構造を制御する一手段となりうることを見出した。一方で、試行した条件の範囲では溶剤への分散濃度は、単一の種類のヨウ化アルキルを導入した場合との有意な差は認められなかった。