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2019 年度 実施状況報告書

SPアンテナ付SOIフォトダイオードを利用した集積化光学バイオセンサーの開発

研究課題

研究課題/領域番号 18K04261
研究機関静岡大学

研究代表者

佐藤 弘明  静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (00380113)

研究分担者 猪川 洋  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (50393757)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワード集積化バイオセンサー / ラベルフリー / 表面プラズモンアンテナ / SOIフォトダイオード
研究実績の概要

本研究では、提案した集積化光学バイオセンサーにおける検体の屈折率変化に対する測定限界(雑音等価屈折率変化)が、既存で大型な光学バイオセンサーよりも同等かそれ以下に到達させることが肝要である。昨年度まで得られた屈折率変化の測定限界は1×10の-5乗 RIU (RIUは屈折率単位)で、他の光学バイオセンサーの性能に比肩しうる値ではあるものの、10の-6乗台を目標としている。そのためには、屈折率変化に対する感度の向上と雑音レベルの低減が必要となる(測定限界 = 雑音レベル / 屈折率変化に対する感度)。試作直後のデバイスの雑音レベルは、検体を導入していない状況ではそれほど大きくなかったため、主要な問題は検体水溶液の環境揺らぎであることを想定した。昨年度は検体の温度変化に伴う影響を調査し、温度測定用ダイオードを追加して温度補償を行ったところ、測定の再現性を確保できた。本年度はこれに加え、検体容量を減らして測定する方式を新たに検討した。具体的には垂直入射による測定が可能となるかを検討した。従来はデバイスに対して光を斜めに入射する方式を基本としていたが、斜め入射の場合は検体封止のためのカバーを斜めに配置しなければならず、余分な検体導入領域が避けられない。一方、垂直入射では検体封止用のカバーがデバイスと平行にできるため、余分な領域を削減しやすい。まず、屈折率変化に対する感度を電磁界シミュレーションによって見積もったところ、斜め入射の場合と同程度の感度を確保できることを見出した。また、生体分子間相互作用を想定したSPアンテナ近傍のわずかな屈折率変化に対しても同様であった。検体導入領域の低減は、検体試薬の節約や試薬置換時間の短縮化、および測定光学系の簡素化に寄与する。この成果を受けて、来年度は垂直入射による生体分子相互作用の測定を進めて、提案バイオセンサーの潜在能力を明らかにする。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

生体分子結合の測定における意図しない信号変化を抑制することを目的に、検体導入領域を低減する測定方式を新たに検討した。具体的には光を垂直に入射させる測定方式の導入で、従来の斜め入射方式では避けられなかった余分な検体導入領域を削除できる。まだシミュレーションによる設計が終わった段階ではあるが、十分な屈折率変化に対する感度を確保できることや、生体分子の結合に伴うわずかな屈折率変化であっても検出可能であることが見込まれている。
加えて金薄膜表面上へ生体分子を固定化する手順を確立するため、薄膜測定技術であるエリプソメトリーを利用した膜厚測定を重ねた。具体的には金表面に自己組織化分子膜であるシステアミンを固定化したのち、生体分子のビオチンとアビジンの順番で固定化した際の膜厚を測定した。調合試薬の濃度や固定化の時間を調整し、観測を重ねて再現性を分析することで、信頼性が確保されうる条件を見出した。
本研究で提案する集積化バイオセンサーの目標性能を達成するため、必要な要素の検討でそれぞれ進展が見られることから、おおむね順調に進展しているといえる。

今後の研究の推進方策

光を垂直に入射させる測定方式による測定を実際に行って性能評価を行う。特に検体導入領域の低減に伴う雑音レベルと屈折率変化に対する感度を評価し、それぞれの性能が向上するかを調査する。光を斜めに入射させた従来方式の測定結果と比較し、新方式の潜在能力を多角的に評価する。雑音レベルの低下については、デバイス作製において意図しない要因がなかったかを整理するため、作製デバイスの分析を外注によって詳細に調査する。
また生体分子結合の測定においては、高い親和性を有するアビジン-ビオチン結合の検出を基本とし、従来方式と新方式の測定を繰り返すことで、これまで問題となっていた意図しない信号変化がどの程度で抑制できるのかを重点的に調査する。意図しない信号変化の抑制方法を具体的に検討し、作製工程に反映させる。その上で、インフルエンザウイルス等、多種の生体分子結合を測定することによって、本研究における光学バイオセンサーとしての位置づけと潜在能力を明示する。

  • 研究成果

    (17件)

すべて 2020 2019 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 2件、 査読あり 2件) 学会発表 (14件) (うち国際学会 8件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Optimization of electric field enhancement of Ag@SiO2 trimer nanospheres by finite difference time domain method2019

    • 著者名/発表者名
      Anitharaj Nagarajana, Aruna Priya Panchanathan, Pandian Chelliah, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 495 ページ: 143547_1-7

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2019.143547

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Performance improvement of on-chip integrable terahertz microbolometer arrays using nanoscale meander titanium thermistor2019

    • 著者名/発表者名
      Amit Banerjee, Hiroaki Satoh, Durgadevi Elamaran, Yash Sharma, Norihisa Hiromoto, and Hiroshi Inokawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 125 ページ: 214502_1-12

    • DOI

      https://doi.org/10.1063/1.5083643

    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] Azimuth and Elevation Angle Dependence of Light Sensitivity in SOI Photodiode with Gold Grating2020

    • 著者名/発表者名
      Anitharaj Nagarajan, Shusuke Hara, Aruna Priya Panchanathan, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] High-frequency Response of Si-SET: Experimental Verification2020

    • 著者名/発表者名
      Alka Singh, Tomoki Nishimura, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] An FPGA-Based Real-Time Signal Processing for SOI MOSFET Single-Photon Detector2020

    • 著者名/発表者名
      Revathi Manivannan, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Optical Response of SOI Photodiode with Gold Line-and-space Grating to Biomolecular Interactions2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Satoh, Koki Isogai, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      The 42nd Photonics & Electromagnetics Research Symposium (PIERS) in Xiamen
    • 国際学会
  • [学会発表] A Study on Directivity of SOI Photodetector with 2D Hole Array Type Gold Grating2019

    • 著者名/発表者名
      Anitharaj Nagarajan, Shusuke Hara, Hiroaki Satoh, Aruna Priya Panchanathan, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      The 42nd Photonics & Electromagnetics Research Symposium (PIERS) in Xiamen
    • 国際学会
  • [学会発表] High-Frequency Characterization of Silicon Single-Electron Transistor as a Rectifier2019

    • 著者名/発表者名
      Alka Singh, Tomoki Nishimura, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Biomedical Engineering (ISBE 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] A Study on Biomolecular Interaction Observation Using Silicon-On-Insulator Photodiode with Surface Plasmon Antenna2019

    • 著者名/発表者名
      Koki Isogai, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Biomedical Engineering (ISBE 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] Azimuth and Elevation Angle Dependence of SOI Photodiode Characteristics with 2D Hole Array Grating2019

    • 著者名/発表者名
      Anitharaj Nagarajan, Shusuke Hara, Hiroaki Satoh, Aruna Priya Panchanathan, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Biomedical Engineering (ISBE 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] Design and Implementation of FPGA-Based Real-Time Signal Processing for SOI MOSFET Single-Photon Detector2019

    • 著者名/発表者名
      Revathi Manivannan, Hiroaki Satoh, Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Biomedical Engineering (ISBE 2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] 単電子トランジスタ整流器の感度と周波数特性の改善2019

    • 著者名/発表者名
      西村智紀, Alka Singh, 杉山皓慎, 佐藤弘明, 猪川 洋
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] SPアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた生体分子間相互作用の測定における理想的性能のFDTD解析2019

    • 著者名/発表者名
      磯谷滉希, 佐藤弘明, 竹内 州, 猪川 洋
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 金属格子型SPアンテナ付SOI フォトダイオードの光感度における指向性の評価2019

    • 著者名/発表者名
      原 秀輔, ナガラジャン アニタラジ, 佐藤弘明, 猪川 洋
    • 学会等名
      光・電波ワークショップ(電子情報通信学会・光エレクトロニクス研究会)
  • [学会発表] Directivity of SOI Photodiode with Gold Surface Plasmon Antenna2019

    • 著者名/発表者名
      Anitharaj Nagarajan, Shusuke Hara, Hiroaki Satoh, Aruna Priya Panchanathan, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      2019 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 国際学会
  • [学会発表] Comparative Study on 1-THz Antenna-Coupled Bolometer with Various SOI-CMOS based Temperature Sensors: MOSFET, Diode, Resistor and Thermocouple2019

    • 著者名/発表者名
      Durgadevi Elamaran, Takeo Ueta, Hiroaki Satoh, Norihisa Hiromoto, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      2019 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 国際学会
  • [備考] 静岡大学教員データベース

    • URL

      https://tdb.shizuoka.ac.jp/ResearcherDB/public/Default2.aspx?id=10821

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公開日: 2021-01-27  

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