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2020 年度 実績報告書

SPアンテナ付SOIフォトダイオードを利用した集積化光学バイオセンサーの開発

研究課題

研究課題/領域番号 18K04261
研究機関静岡大学

研究代表者

佐藤 弘明  静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (00380113)

研究分担者 猪川 洋  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (50393757)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワード集積化バイオセンサー / ラベルフリー / 表面プラズモンアンテナ / SOIフォトダイオード
研究実績の概要

本研究で提案した集積化光学バイオセンサーにおいて、検体に対する屈折率変化の測定限界(雑音等価屈折率変化)が、既存で大型な光学バイオセンサーよりも同等かそれ以下に到達させることを主要な目標として研究を進めた。最終年度まで得られた屈折率変化の測定限界は、1×10の-5乗 RIU (RIUは屈折率単位)を少し上回るところまで到達し、他の光学バイオセンサーの性能に比肩しうる値となったものの、10の-6乗RIU台へは信号雑音の抑制が計画通りに進まず、到達できなかった(測定限界 = 雑音レベル / 屈折率変化に対する信号変化)。試作デバイスに検体水溶液を導入する前は雑音レベルが低かったため、主要な問題は検体水溶液の導入に伴うものと考えられる。特に絶縁材料によって分離された電極間が水溶液によって短絡すると、屈折率変化に伴う信号に雑音が重畳する。試作したバイオセンサーは、測定を繰り返すことによって雑音信号が増加していたため、使用した絶縁材料の水溶液に対する耐久性が疑わしい。より強固な絶縁材料に変更する必要があったと推測している。もう一つ考慮すべき点は導入水溶液の温度や圧力の変化への対応であった。温度変化に対しては独自の補償方法を本研究において提案するとともに、その効果を実証している。一方の圧力変化については、最終年度に自動送液システムを導入して対応した。特に手動で検体を切り替えていた際の急激な圧力変化が抑制され、出力信号の揺らぎの低減につながった。
本研究では、提案バイオセンサー単体の性能向上だけではなく、複数のバイオセンサーを集積化し、生体分子検出の効率化も計画した。アレイ状に配列したバイオセンサーチップを実際に試作した。また、バイオセンサーのごく近傍に温度センサーを配置し、検体温度を高精度に補償できたことは、集積回路の特徴を活かした大きな成果である。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 3件、 査読あり 3件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (9件) (うち招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Angle-Sensitive Detector Based on Silicon-On-Insulator Photodiode Stacked with Surface Plasmon Antenna2020

    • 著者名/発表者名
      Nagarajan Anitharaj、Hara Shusuke、Satoh Hiroaki、Panchanathan Aruna Priya、Inokawa Hiroshi
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 20 ページ: 5543_1~14

    • DOI

      10.3390/s20195543

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Performance Comparison of SOI-Based Temperature Sensors for Room-Temperature Terahertz Antenna-Coupled Bolometers: MOSFET, PN Junction Diode and Resistor2020

    • 著者名/発表者名
      Elamaran Durgadevi、Suzuki Yuya、Satoh Hiroaki、Banerjee Amit、Hiromoto Norihisa、Inokawa Hiroshi
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 11 ページ: 718_1~16

    • DOI

      10.3390/mi11080718

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Angular selectivity of SOI photodiode with surface plasmon antenna2020

    • 著者名/発表者名
      Nagarajan Anitharaj、Hara Shusuke、Satoh Hiroaki、Panchanathan Aruna Priya、Inokawa Hiroshi
    • 雑誌名

      IEICE Electronics Express

      巻: 17 ページ: 20200187_1~6

    • DOI

      10.1587/elex.17.20200187

    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] Performance Estimation of Single-Charge Counting Photon Detectors2021

    • 著者名/発表者名
      Revathi Manivannan, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 金属ナノ微粒子膜の高周波整流特性の検討2021

    • 著者名/発表者名
      岩田賢明, 西村智紀, アルカ シン, 佐藤弘明, 猪川 洋
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Performance Improvement of THz Microbolometer by Folded-Dipole Antenna2021

    • 著者名/発表者名
      Arie Pangesti Aji, Hiroaki Satoh, Catur Apriono, Norihisa Hiromoto, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 熱フィードバック発振器による熱伝導度・熱容量の実時間測定2021

    • 著者名/発表者名
      城取恭平, 笠原健太郎, 寄神寿明, 五井悠仁, 佐藤弘明, 猪川 洋
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] High-Frequency Rectifying Characteristics of Si Nanowire Single-Electron Transistor2021

    • 著者名/発表者名
      Alka Singh, Shogo Matsumoto, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Silicon-on-insulator photodiode with surface plasmon antenna and its applications2021

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Satoh
    • 学会等名
      International Conference on Research and Development in Science, Engineering and Technology
    • 招待講演
  • [学会発表] SPアンテナ付SOIフォトダイオードを用いた生体分子間相互作用の検出における測定条件の最適化2020

    • 著者名/発表者名
      磯谷滉希、佐藤弘明、竹内 州、猪川 洋
    • 学会等名
      光・電波ワークショップ
  • [学会発表] Polarization Dependence of Incident Angle Sensitivity in SOI Photodiode with 2D Hole Array Grating2020

    • 著者名/発表者名
      Anitharaj Nagarajan, Shusuke Hara, Hiroaki Satoh, Aruna Priya Panchanathan, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW)
  • [学会発表] Photon-number Statistics Observed by SOI MOSFET Single-Photon Detector with Real-time Signal Processing2020

    • 著者名/発表者名
      Revathi Manivannan, Hiroaki Satoh, and Hiroshi Inokawa
    • 学会等名
      IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW)
  • [備考] 静岡大学教員データベース

    • URL

      https://tdb.shizuoka.ac.jp/ResearcherDB/public/Default2.aspx?id=10821&l=0

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公開日: 2021-12-27  

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