AI用デバイスには低消費電力で学習機能を持つメモリが有効で、抵抗型メモリの研究が注目されているが、消費電力の問題がある。そのため本研究では、酸化グラフェン(GO)のレーザー還元で簡易に作製できる低消費電力抵抗型メモリの実現を目指す。 結果としてGOのレーザー還元で電気抵抗の変調とメモリ効果出現を確認し、素子間での再現も確認、メモリには部分還元領域が重要である事が明らかになった。物性評価では、FTIR,ラマン分光でGOの還元を確認した。メカニズム調査のため、プローブでサンプル内の場所を変え電気特性を評価した。今後の評価が必要であるが、メモリ効果は非還元、部分還元領域で違いがある事がわかった。
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