| 研究課題/領域番号 |
18K04283
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
山下 馨 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 教授 (40263230)
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| 研究分担者 |
野田 実 京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 教授 (20294168)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2024-03-31
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| キーワード | 圧電体 / MEMS / 応力 / 共振 / 周波数制御 |
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| 研究成果の概要 |
振動型MEMSデバイスの飛躍的性能向上を図り，圧電MEMSデバイスにおいて動的に共振周波数可変な機構を導入して共振挙動を理論面と実測面から追究した。共振挙動の評価について走査型レーザドプラ計測によるインパルス応答解析手法を確立して共振挙動を明らかにした。理論解析においては座屈構造における固有振動数の解析法を確立した。この解析手法を円形ダイアフラムの振動に適用し，固有振動数の変化や共振挙動が実測によく一致することを確認した。超音波アレイセンサへの応用として固有振動数を2倍以上変化させる制御手法を確立し，これを利用して従来の理論的限界を超える超高分解能の超音波計測技術に適用できる可能性を確認した。
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| 自由記述の分野 |
工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
MEMSデバイスは社会生活を支える基盤技術に重要な役割を果たすようになってきており，今後更なる高性能化が期待されている。本研究では振動型MEMSデバイスの共振周波数制御において，製造プロセスの精密化に過度に依存せずに詳細に特性を設定制御できる手法を提供するとともに，これまで単一の周波数で用いられてきた振動型デバイスを，動的に周波数を変更するデバイスとして新たな機能を追加することにより，従来にないデバイスを開発する基本技術を提供するものである。
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