ガス環境TEMその場観察法は真に材料とガスとの反応を観察しているのか？

2020 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 18K04824
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分27020:反応工学およびプロセスシステム工学関連
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 徳永 智春 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (90467332)
• 研究期間 (年度): 2018-04-01 – 2021-03-31
• キーワード: ガス環境TEM / イオン化

研究成果の概要

電子線照射中の窒素ガス雰囲気中には，気体分子のイオン化に伴うイオンと電子が発生していることが明らかになり，発生したイオンはN2+イオンであることが判明した．つまり電子線照射中のガス環境はガスだけではなく，イオンも存在していることを見出した．この雰囲気にCr2O3を保持したところ，窒化されていることが判明した．電子線照射中のガス雰囲気における試料観察はイオンの影響も考慮する必要がある．

自由記述の分野

ガス環境電子顕微鏡

研究成果の学術的意義や社会的意義

ガスと材料の反応を観察することが可能と考えられてきたガス環境その場観察手法は，ガスと材料の反応だけではなく，電子線照射に伴って発生するイオンとの反応が含まれる可能性が考えられた．ガス環境その場観察から得られた研究成果を再検証する必要があると共に，発生するイオンを除去した環境を形成する必要があると考えられた．