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2020 年度 実績報告書

液体上での積層膜形成とパターニングによる無機/有機積層デバイスの作製

研究課題

研究課題/領域番号 18K04889
研究機関九州工業大学

研究代表者

下岡 弘和  九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 (50253555)

研究分担者 北村 充  九州工業大学, 大学院工学研究院, 教授 (10313199)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワードチタン酸バリウム / 自立膜 / ナノ薄膜 / 無機ー有機積層膜 / パターニング
研究実績の概要

本研究の目的は、液体表面でのナノ薄膜および無機/有機積層ナノ薄膜の新規作製法における成膜・積層条件の検討と、考案した新規パターニング法による積層デバイスの試作、およびその特性評価である。
液面上で形成した自立膜に対して、積層とパターニングに必要な適度な強度と柔軟性を付与するため、脆く弱い自立膜の表面に有機膜を均一に形成する検討を行ってきた。しかし、依然として有機膜の膜厚、組織の制御に課題が残った。数十nm程度の膜厚の有機膜形成を試みた場合では、数nmの均一な前駆膜と数十から百nmオーダーの不均一な凝集構造からなる有機膜が観察された。膜の柔軟性は有機膜の種類や界面への展開量にあまり依存しないことから、数nmの前駆膜による寄与が大きいのではないかと考えられる。この均一な前駆膜は、ポリ乳酸の場合にはカルボニル基が無機膜表面に対して平行に配向していることを示唆する結果も得られている。数十から百nmオーダーの不均一な凝集構造については、ポリ乳酸膜は比較的凝集の少ない膜が得られたが、ポリフッ化ビニリデン膜では前駆膜形成後の自己疎液性によって形成されたと推測される凝集パターンが観察された。この凝集構造は、令和元年度の助成金で導入した超小型原子間力顕微鏡により、積層後直ちに観察できるようになった。また、無機膜については、積層、パターニング後の熱処理温度の低下、配向制御に対する効果が期待される下層液上に拡張したゲル膜内での結晶化を微量ながら検出した。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2020

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] Rh(II)-catalyzed formal [3+3] cycloaddition of diazonaphthoquinones and propargyl alcohols: Synthesis of 2,3-dihydronaphtho-1,4-dioxin derivatives2020

    • 著者名/発表者名
      Kitamura, M., Nishimura, T., Otsuka, K., Shimooka, H., Okauchi, T.
    • 雑誌名

      Tetrahedron Letters

      巻: 61 ページ: 151853

    • DOI

      10.1016/j.tetlet.2020.151853

    • 査読あり
  • [学会発表] 金属酸化物ゲル膜と下層液界面への高分子溶液の浸透による有機-無機二層ナノ薄膜の作製2020

    • 著者名/発表者名
      下岡 弘和・北村 充・桑原 誠
    • 学会等名
      日本化学会第100春季年会(2020)

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公開日: 2021-12-27  

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