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2020 年度 研究成果報告書

液体上での積層膜形成とパターニングによる無機/有機積層デバイスの作製

研究課題

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研究課題/領域番号 18K04889
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分28030:ナノ材料科学関連
研究機関九州工業大学

研究代表者

下岡 弘和  九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 (50253555)

研究分担者 北村 充  九州工業大学, 大学院工学研究院, 教授 (10313199)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワード液相界面 / 界面化学 / ゾル-ゲル法 / 有機-無機積層膜
研究成果の概要

液体上で無機/有機または無機/無機自立積層膜を作製し、液体上に浮遊するその積層膜を用いて固体基板上に転写してパターニングする方法を検討した。数ナノメートルのポリ乳酸薄膜を脆い無機ゲル膜に吸着させて積層することで、柔軟性と強度の向上したゲル膜が得られた。液体上に浮かぶこの積層膜を用いて、様々な固体基板上に微細パターンを転写できた。

自由記述の分野

ナノ材料工学

研究成果の学術的意義や社会的意義

学術的な意義は、本方法が従来の固体基板上での積層膜形成法ではなく液体上での積層膜形成法であることから、原理的に自立積層膜の製造に非常に有利なことである。社会的な意義は、自立膜であることがフレキシブルデバイスへの適用に有利であることと、滴下した原料溶液の液面上での自然な拡張現象を利用して膜を製造するため、膜の製造のためのエネルギー消費が少なく、原料の無駄が少ないことである。

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公開日: 2022-01-27  

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