| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
本研究では結晶セレン薄膜PDの小型化の有効性を実証するために、3年間の研究計画の中で具体的に以下の4つのサブテーマを設定している。
a) 結晶セレンPDの超小型化設計, b) 結晶セレンPDの微細加工プロセス開発, c) ヘテロPN接合特性の最適化, d) 高感度マイクロ光センサのオンチップ動作モデルの開発
平成30年度に(b)については概ね技術的目処が立った。
(c)についても暗電流低減および開放電圧向上のための窓層の最適化の目処が立った。
(a),(d)についても外部へは未発表であるが基本設計および初期試作まではできている。
今後再現性を含めたデータ取得を進め論文としてまとめる予定である。以上より2年目の研究成果としては概ね順調に進展していると考えている。
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