最近、新たな高効率光電変換のアプローチとして超小型太陽電池の有効性が示された。しかしながら結晶セレンPDの光電子材料物性と加工技術の両面に着目した半導体マイクロマシーニングについての報告例は無い。本研究においては結晶セレンPDの構成材料(セレン、酸化チタン、ITO透明導電膜)へエッチングを駆使して結晶セレンPDの超小型化を進めスケール効果の高効率光電変換への有効性を実験的に示した。本手法は、結晶セレンPDと材料構成が比較的近いCu(In,Ga)Se2薄膜やペロブスカイト太陽電池へも将来的に展開できる可能性がある。
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