2020 年度研究成果報告書

高精度界面構造解析のためのＸ線反射率法の改良の研究

研究課題

PDF

研究課題/領域番号	18K04938
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
審査区分	小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
研究機関	神戸大学
研究代表者	藤居義和神戸大学, 工学研究科, 准教授 (80238534)
研究期間 (年度)	2018-04-01 – 2021-03-31
キーワード	表面分析 / 界面分析 / Ｘ線反射率解析 / ナノ材料 / 薄膜解析
研究成果の概要	X線反射率法(XRR)の以前の研究では、Nevot-Croce理論とParratt形式に基づいて計算されていましたが、散漫散乱を考慮していないため粗い表面に対して誤った結果を示すことがよくありました。そこで、粗い表面と界面での散漫散乱の影響を検討し以前のXRR法の問題を解決したところ、XRRで測定された有効粗さは入射角に依存することがわかり、X線の入射角とコヒーレントX線照射領域のサイズに応じた有効粗さを使用した新しい改良されたXRR式を開発し、より正確な表面界面の粗さ及び粗さ相関関数を導き出しました。この改良されたXRR式は埋もれた界面の構造をより正確に分析することを可能にします。
自由記述の分野	表面分析
研究成果の学術的意義や社会的意義	本研究では、粗い表面と界面での散漫散乱の影響を検討し、以前のXRR法の問題を解決しました。そして、X線の入射角とコヒーレントX線照射領域のサイズに応じた有効粗さを使用した新しい改良されたXRR式を開発し、より正確な表面界面の粗さ及び粗さ相関関数を導き出しました。この改良されたXRR式は埋もれた界面の構造をより正確に分析することを可能にします。ナノデバイス等の開発研究に欠かせない表面構造のより正確な分析を可能にし、これらの用いた技術開発に大きく貢献することが期待されます。