研究課題
基盤研究(C)
本研究はアモルファス酸化物半導体薄膜を中心に熱電性能評価とその基礎物性理解を目的とし、成膜条件や異種材料積層効果および結晶性の影響を評価した。成膜時の圧力条件により熱電性能は変化し、それらは材料のエネルギーポテンシャル障壁とフェルミ準位の関係に由来することが分かった。また、アモルファス状態とナノ結晶状態では、熱電性能に大きな違いは見られなかった。一方でTFT構造を用いると単膜を超える熱電性能を示すことが明らかとなった。
熱電発電素子
本研究は、情報化社会において重要となるIoTセンサー機器の自立型電源として応用可能な発電技術である。さらに熱電発電技術は、身近なエネルギー利用に対する意識をグリーンエネルギーへ変革させるものであり、本研究がさらに進展すれば、Society 5.0の実現やSDGs達成に貢献する。