| 研究課題/領域番号 |
18K04950
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分29030:応用物理一般関連
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| 研究機関 | 熊本高等専門学校 |
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研究代表者 |
小田川 裕之 熊本高等専門学校, 拠点化プロジェクト系地域協働プロジェクトグループ, 教授 (00250845)
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| 研究分担者 |
森田 剛 東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 教授 (60344735)
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| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| キーワード | 走査型非線形誘電率顕微法 / 圧電体 / 分極反転 / ドメイン計測 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、(1)圧電体や強誘電体などの電気的に極性を有する材料の、内部の極性構造（分極ドメイン）を、試料表面から非破壊で推定する技術の開発と、(2)圧電素子に交流電圧を印加して駆動させている最中の圧電体中の極性構造の挙動を観察できる装置を、走査型非線形誘電率顕微法(SNDM)を用いて開発することを目的として実施した。(1)については、試料内部の電界分布を変化させることで測定可能であること、またその方法は探針ではなく試料裏面の電極の位置を変える方法が有効であることを見出した。(2)については、交流電圧印加中のドメインの動きを観察できた。
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| 自由記述の分野 |
圧電材料・デバイスおよびその評価技術
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
プローブ顕微鏡技術は、微細な領域の表面状態を観察できる技術で、表面の測定に主眼が置かれているが、本研究手法のように試料内部の電界分布を変化さえることで、深さ方向の特性も測定が可能となるため、本研究で対象としている圧電材料の開発のみでなく広くこの技術が応用可能である。また、圧電素子は、大電力で素子を駆動すると特性が劣化することが知られており、試料内部のドメインの動きが影響していると考えられているが、それの挙動をリアルタイムで観察するのは困難であった。本研究で開発した装置を用いることで、圧電素子の特性向上や材料開発に大きく貢献できる。
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