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2018 年度 実施状況報告書

紫外LED動作時の禁制帯内励起光照射による欠陥準位の検出・評価手法の確立

研究課題

研究課題/領域番号 18K04954
研究機関埼玉大学

研究代表者

鎌田 憲彦  埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (50211173)

研究分担者 矢口 裕之  埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (50239737)
平山 秀樹  国立研究開発法人理化学研究所, 開拓研究本部, 主任研究員 (70270593)
研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2021-03-31
キーワードUV-LED / 欠陥準位 / 非発光再結合
研究実績の概要

市販されているSMD型紫外LEDを放熱プレート上に固定し、放熱プレートの温度をペルチエ素子で自動制御する試料マウント部を作製した。広帯域ロックインアンプSR865Aを導入し、EL、電流、電圧測定のための実験系を新たに整備した。室温付近の一定温度下でLEDを低電流駆動し、外部からBGE光を断続照射した際のBGE光ONおよびOFF時のEL強度IB、IEが異なることを確認した。両者の比IB/IEで規格化EL強度を定義し、この比が1からずれることによって欠陥準位を検出する。複数のUV-LEDを用いてこのEL強度変化(BGE効果)を観測し、LEDチップ形状での欠陥準位検出が可能であることを確認した。
駆動回路の直列抵抗値と駆動方法により規格化EL強度、電流増加量が異なることを再度確認した。回路要因を系統的に調べた結果、 EL強度変化(規格化EL強度IN:BGE光照射あり/なしでのEL強度の比)は定電流駆動条件を基準とする、定電圧条件ではBGE光照射による電流増加分がELに寄与するため、BGE効果は+側にシフトする、電流値の増加量Δiは定電圧駆動条件で再現性良く測定可能である、定電流条件でBGE光を照射すると、一定電流を維持するために必要な電圧値が低下する、といった諸点が得られた。
駆動電流値を増すにつれ、BGE光照射による相対的なEL強度変化率(規格化EL強度)は低下するが、Δiは単調増加する。実際の定格電流駆動時での評価に近づくため、定電圧駆動時の電流増加量Δiに着目し、駆動電流400mAまでの領域でΔiの測定を達成した。ロックインアンプを導入して測定条件の改善を始め、成果の一部を発表した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

導入したロックインアンプと制御コンピュータとの円滑なデータ転送系の構築に想定以上の期間を要したものの解決した。研究分担者と連携してUV-LED材料であるAlGaN-MQW構造のMOCVD成長、LED素子加工、成長したMQW構造のBGE光照射による欠陥準位検出、電流駆動したUV-LEDチップへのBGE光照射による欠陥準位検出を分担して進めている。2018年度はAlGaN-MQW構造の結晶成長と評価に関してISAMR電話招待講演1件、CMOVPEで2件、IWNで3件(いずれも査読付き国際会議)、学振162委員会研究会で1件、応用物理学会で2件の成果講演を行った。電流駆動したLEDチップでの欠陥準位検出はIWN、APICENSで2件(いずれも査読付き国際会議)成果講演した。この他にn-GaN層内欠陥準位のLT-GaNまたはAlNバッファ層挿入効果に関して学術誌(査読付き)に論文投稿し刊行した。

今後の研究の推進方策

導入したロックインアンプを使用したBGE光照射によるEL強度変化の測定条件をさらに検討し、微弱変化分に対して最もS/N比の高い測定条件を探索する。次にその条件で駆動電流値を増し、より高注入状態でのBGE効果の検出に努める。またBGE光照射時に観測される電流増加Δiについても高精度測定を行い、EL強度変化とΔiのふるまい、そのUV-LED試料依存性を整理する。これまでの単純化されたキャリア再結合モデルに対して、実験で得られたBGE効果とそのBGEエネルギー、駆動電流値依存性をどう解釈するか、可能性のある組み合わせを基により実際に近いモデル化を進める。深紫外域組成のAlGaN-MQW構造を結晶成長し、欠陥準位評価と合わせて効率改善を図る。

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2019 2018

すべて 雑誌論文 (1件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 9件、 招待講演 1件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Study of Nonradiative Recombination Centers in n-GaN Grown on LT-GaN and AlN Buffer Layer by Below-Gap Excitation2018

    • 著者名/発表者名
      M. D. Haque, M. Julkarnain, A. Z. M. Touhidul Islam, N. Kamata and T. Fukuda
    • 雑誌名

      Advances in Material Physics and Chemistry

      巻: 8 ページ: 143-155

    • DOI

      10.4236/ampc.2018.83010

    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] Nonradiative Recombination Centers in UV-LED Chips Detected by Below-Gap Excitation Light,2019

    • 著者名/発表者名
      Ken Matsuda, Sota Shirai, Zentaro Honda, and Norihiko Kamata,
    • 学会等名
      2019 Asia-Pacific Conf. on Engineering and Natural Sciences (APICENS)
    • 国際学会
  • [学会発表] Milliwatt Power UVA LEDs Developed by Using AlGaN Superlattice (SL) Buffer Layers Fabricated on AlN/Sapphire Templates2018

    • 著者名/発表者名
      Muhammad Ajmal Khan, Takuma Matsumoto, Yuri Itokazu, Noritoshi Maeda, Masafumi Jo, Norihiko Kamata, and Hideki Hirayama
    • 学会等名
      The 19th Int. Conf. on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy ICMOVPE
    • 国際学会
  • [学会発表] 325nm Emission From Highly Transparent AlGaN UVA LEDs Grown on AlN Template in the LP-MOCVD2018

    • 著者名/発表者名
      Muhammad Ajmal Khan, Takuma Matsumoto, Yuri Itokazu, Noritoshi Maeda, Masafumi Jo, Norihiko Kamata, and Hideki Hirayama
    • 学会等名
      The 19th Int. Conf. on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE)
    • 国際学会
  • [学会発表] Optical Characterization of Defect Levels in AlGaN Multiple Quantum Wells by Using Below-Gap Excitation Light2018

    • 著者名/発表者名
      N. Kamata, Y. Itokazu, Md H. Ismail, and H. Hirayama
    • 学会等名
      The 2018 Int. Symp. for Advanced Materials Research (ISAMR 2018)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Improved Arrangement of Deep UV LEDs for Water-Purification System2018

    • 著者名/発表者名
      T. Miya, and N. Kamata
    • 学会等名
      The 2018 Int. Symp. for Advanced Materials Research (ISAMR 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Nonradiative Recombination Centers in AlGaN Deep UV-LEDs Detected by Below Gap Excitation Light2018

    • 著者名/発表者名
      M. Ismail Hossain, Yuri Itokazu, Shunsuke Kuwaba, Norihiko Kamata, Noritoshi Maeda, and Hideki Hirayama
    • 学会等名
      The Int. Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Nonradiative Recombination Centers in UV-LEDs Detected by Below-Gap Excitention Light Under Current Injection2018

    • 著者名/発表者名
      Sota Shirai, Ken Matsuda, Norihiko Kamata, and Zentaro Honda
    • 学会等名
      The Int. Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Efficient carrier injection in UVC AlGaN LEDs with thick p-AlGaN layers2018

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Kuwaba, Yuri Itokazu, Masafumi Jo, Norihiko Kamata, and Hideki Hirayama
    • 学会等名
      The Int. Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of the nucleation conditions on the quality of AlN layers with high temperature annealing and regrowth processes2018

    • 著者名/発表者名
      Yuri Itokazu, Shunsuke Kuwaba, Masafumi Jo, Norihiko Kamata, and Hideki Hirayama
    • 学会等名
      The Int. Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] 半極性AIN/サファイアの結晶成長とUVC-LED実現へのアプローチ2018

    • 著者名/発表者名
      定昌史, 糸数雄吏, 桑葉俊輔, 鎌田憲彦, 平山秀樹
    • 学会等名
      独立行政法人日本学術振興会 ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会, 第110回研究会・特別公開シンポジウム「紫外発光デバイスの最前線と将来展望」
  • [学会発表] 深紫外AlGaN発光ダイオード特性のp-AlGaN膜厚依存性2018

    • 著者名/発表者名
      桑葉 俊輔、糸数 雄吏、定 昌史、鎌田 憲彦、平山 秀樹
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 高温アニール・再成長により作製したAlNの結晶性に及ぼす核形成条件の影響2018

    • 著者名/発表者名
      糸数 雄吏、桑葉 俊輔、定 昌史、鎌田 憲彦、平山 秀樹
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [図書] 新編「照明専門講座テキスト」第34期2018

    • 著者名/発表者名
      鎌田分担執筆
    • 総ページ数
      19
    • 出版者
      一般社団法人照明学会

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公開日: 2019-12-27  

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