| 研究課題/領域番号 |
18K14124
|
|---|
| 研究種目 |
若手研究
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 審査区分 |
小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
|
|---|
| 研究機関 | 東京理科大学 |
|---|
研究代表者 |
入田 賢 東京理科大学, 理工学部機械工学科, 助教 (20792188)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2018-04-01 – 2020-03-31
|
| キーワード | 走査電子顕微鏡(SEM) / X線顕微鏡 / 電子源 / カーボンナノチューブ(CNT) |
|---|
| 研究成果の概要 |
ナノサイズの試料やウイルスの挙動を観察することを目的に、卓上-走査電子顕微鏡(DSEM)をベースに持ち運び可能な3次元透過X線顕微鏡(3D-TXM)の開発を行った。本研究で開発した装置は、電子ビームの照射位置を変えてX線の発生位置を制御し、X線を大気中に取り出せる構造を実現することができた。しかし、開発ベースに使用したDSEMの熱電子源(TFE)では発生するX線量が少なく、試料の3D-TXM像を観察できなかった。本研究で、TFEと冷陰極電界放出電子源(CFE)を比較することで、CFEの性能の高さを再確認した。今後、CFEを搭載したDSEMにすることにより、試料の3D-TXM像観察が可能になる。
|
| 自由記述の分野 |
薄膜および表面界面物性
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究では、卓上-走査電子顕微鏡(DSEM)をベースに持ち運び可能な3次元透過X線顕微鏡(3D-TXM)の研究開発に取り組んだ。試料の3D-TXM像の観察を実現できなかったが、DSEMに搭載されている熱電子源(TFE)では発生するX線量が少ないことを明らかにした。現在、市場で販売されているDSEMには、主にTFEが搭載されており、SEMとしての空間分解能は十分であることを確認した。冷陰極電界放出電子源(CFE)を搭載することにより、プローブ電流量の多さに加え、輝度の高さにより、DSEMを更なる分析装置にできることを示した。本研究成果は、CFEの重要性とDSEMへの搭載をより先導する成果である。
|
