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ナノインクを基盤材料とし電子素子（ダイオード、配線など）を印刷により形成する技術、”印刷エレクトロニクス”が注目されている。印刷エレクトロニクスの電極形成用途では、電極と半導体間における電気的接触の評価が重要であるが、ナノインクを焼成し電極形成する際の残存有機物や界面形成は電気的接触に大きな影響を与える。本研究では、銀ナノインクを用いてシリコン基板上に銀電極を形成したショットキーバリアダイオードを作製した。そして、作製した電極の特性や焼成条件がダイオードの電気特性に与える影響について、電流-電圧計測や界面の電子顕微鏡観察、さらにケルビンプローブ力顕微鏡を用いた計測により明らかにした。
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