• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2021 年度 研究成果報告書

Selective growth of ultra-long grain in metal thin film for microelectronic application

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 18K14139
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分30010:結晶工学関連
研究機関島根大学

研究代表者

Pham Hoang.Anh  島根大学, 学術研究院理工学系, 助教 (60750213)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2022-03-31
キーワードThin film / Single Crystal / Laser annealing / Metal film / Crystal orientation / Crystal growth / Microstructure control / Characterization
研究成果の概要

レーザービーム走査を用いて、熱蒸着したAl薄膜とスパッタ蒸着したAu薄膜上に単結晶結晶縞を成長させることに成功した。 レーザービーム走査により、Au薄膜上に単粒結晶を成長させるために必要な条件を確立した。 金属薄膜上での単結晶結晶成長の場合、過度のアブレーションなしに完全な溶融プールを維持するようにレーザービームを制御する必要がある。 単粒結晶成長のメカニズムとその結晶方位選択を解明した。

自由記述の分野

Thin film

研究成果の学術的意義や社会的意義

We have grown single-grain crystal line on Al and Au thin films. The laser parameters have been determine to control the crystal orientation of the crystals. The mechanism of crystal orientation selection has been clarified. The results have applications in microelectronic and plasmonic devices.

URL: 

公開日: 2023-01-30  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi