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2019 年度 実績報告書

層状カルコゲナイドpn接合セレクタを用いた大容量不揮発性メモリ素子の実現

研究課題

研究課題/領域番号 18K14306
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

齊藤 雄太  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (50738052)

研究期間 (年度) 2018-04-01 – 2020-03-31
キーワード層状カルコゲナイド / テルライド / pn接合 / トポロジカル絶縁体
研究実績の概要

これまでの研究で、高配向Bi2Te3/Sb2Te3積層膜のpn接合デバイスによる縦方向整流作用の測定を行なった結果、電流-電圧特性は線形的なオーミック挙動を示し、非線形な整流作用を示さないことがわかった。これは、どちらの層も縮退半導体であり、金属的な電気伝導挙動を示すことに起因すると考えられた。ヘテロ界面においてBiとSbが数nmスケールの相互拡散をしていることがわかり、この界面拡散が電気特性に影響を与えている可能性を考慮し、拡散バリア層としてアモルファスSiをスパッタ法にて成膜した。しかしながら、界面での拡散は抑制されてはいるが、依然として電気特性は線形的で、整流作用を示さなかった。これは、アモルファスSi層は拡散防止には効果的だが、電気的には整流作用を生じさせる効果は期待できないことを示している。第一原理計算によって、Bi2Te3とSb2Te3の格子定数と近く、かつバンドギャップが大きい(電気抵抗が高い)物質を体系的に調査した結果、ヘキサゴナルBNが拡散防止効果および高い電気抵抗層として働く可能性があることが示唆された。現在、上記の一連の結果について論文執筆中である。
各層の抵抗を高める可能性の一つとして、組成の変調が挙げられる。一方で、組成が変わるとスパッタリング法による成膜挙動も変化する可能性が指摘されたため、様々なTe系カルコゲナイド薄膜の成膜挙動の詳細な研究も実施した。
さらに、高い配向性を持ちつつ、より高抵抗を示す可能性のある材料候補が絞り込まれつつあり、今後本研究終了後も継続して実験による検証を行っていく予定である。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2020 2019

すべて 雑誌論文 (1件) (うち国際共著 1件、 査読あり 1件) 学会発表 (6件) (うち国際学会 2件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] High-quality sputter-grown layered chalcogenide films for phase change memory applications and beyond2020

    • 著者名/発表者名
      Saito Yuta、Fons Paul、Kolobov Alexander V、Mitrofanov Kirill、Makino Kotaro、Tominaga Junji、Hatayama Shogo、Sutou Yuji、Hase Muneaki、Robertson John David
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: - ページ: 印刷中

    • DOI

      doi.org/10.1088/1361-6463/ab850b

    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] 相変化材料の材料設計指針とテルライド材料の新しい展開2020

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太
    • 学会等名
      2020年第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] 層状カルコゲナイドpn接合の作製とその界面および電子状態2020

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太、Paul Fons、牧野孝太郎、Kirill V. Mitrofanov、上杉文彦、竹口雅樹、Alexander V. Kolobov、富永淳二
    • 学会等名
      2020年春期(第166回)日本金属学会講演大会
  • [学会発表] Origin of electrical contrast in interfacial phase change memory2019

    • 著者名/発表者名
      Yuta Saito
    • 学会等名
      Insulating Films on Semiconductors (INFOS 2019)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Revisiting the growth mechanism of layered crystalline phase change materials by sputtering2019

    • 著者名/発表者名
      Yuta Saito, Alexander V. Kolobov, Paul Fons, Kirill V. Mitrofanov, Kotaro Makino, Junji Tominaga, Muneaki Hase, and John Robertson
    • 学会等名
      European Phase Change and Ovonics Symposium 2019 (EPCOS2019)
    • 国際学会
  • [学会発表] 相変化メモリ用カルコゲナイド材料の開発2019

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太
    • 学会等名
      2019年秋期(第165回)日本金属学会講演大会
    • 招待講演
  • [学会発表] Recent update on the growth of crystalline phase change materials by sputtering2019

    • 著者名/発表者名
      Yuta Saito, Paul Fons, Alexander V. Kolobov, Kirill V. Mitrofanov, Kotaro Makino, Junji Tominaga, Shogo Hatayama, Yuji Sutou, Muneaki Hase, and John Robertson
    • 学会等名
      31st Symposium on Phase Change Oriented Science 2019 (PCOS2019)

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公開日: 2021-01-27  

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