自己ジュール発熱により微小間隙に安定熱収支場を生成してその変化を高精度に検知するマイクロ熱検知素子を用い,高精度マイクロパターン(スケール)の3次元形状を読み取ることで,超コンパクトな形態での高精度・多軸変位計測を実現する「マイクロ熱収支場検知式エンコーダ」の基礎原理を提案した.フォトリソグラフィプロセスを用いてガラス基板上にマイクロ熱検知素子を試作し,マイクロパターン群を有する回折格子と組み合わせてマイクロ熱収支場検知式エンコーダのプロトタイプを構築して原理検証実験を行い,その実現可能性を実験的に明らかにした.
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