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近接場光を高分解能に測定するために制限している因子を理論的・実験的に検討し、近接場光を力として高分解能に測定するための条件を求めた。次に、近接場光を力として高感度・高分解能に測定するため、近接場光学顕微鏡の様々な構成要素の低ノイズ化を実現した。具体的には、カンチレバーの変位検出計の高周波化と低ノイズ化を実現するとともに、カンチレバーの小振幅動作を実現し、力検出の高感度化・高分解能化を実現した。また、バックグランド光を低減した光照射系を実現した。さらに、近接場光の分布を原子スケールで超高感度・超高分解能に観察できることを実証した。
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