研究期間全体を通じて、本研究課題である近接場光位相共役による集光パターン生成技術についてFDTDシミュレーションによる理論検討を実施した。シミュレーションにおいては実機に即したパラメータセッティングを用いた。更に、デジタル光位相共役鏡のプロトタイプの開発、散乱レンズによる高分解能光パターニング手法の提案、波面最適化に基づいた微弱光用位相共役技術の開発、を行った。最終年度後半は、清華大学精密機器工程系の訪問教員として、空間光変調器による波面制御とレーザー干渉計を組み合わせることによって、微細構造を有する表面の高分解能計測に関する研究開発を実施した。
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