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2009 年度 自己評価報告書

積層微細構造を広範囲一括で金型転写する技術の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 19106003
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京大学

研究代表者

中尾 政之  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90242007)

研究期間 (年度) 2007 – 2011
キーワードナノ・マイクロ加工 / 機械工作・生産工学 / 精密部品加工 / 超精密金型転写
研究概要

申請者は、微細構造を有する光学素子をハンコを押すように生産する方法を開発することを目標としていた.具体的には,ピッチが可視光波長の半分(たとえば200nm)の凸凹を有する導波路,金属のラインアンドスペースを有する偏光板,そして屈折率の異なる材料が波長程度のピッチで3次元に周期配列された多機能光学素子である.これらの微細構造を大型液晶ディスプレイなどに用いることができれば,明度,偏光,色,視野角などを調整する複数枚のシート群を代替できる.
諸機能を融合した光学素子を製造するために,積層微細構造を広範囲一括で金型転写する技術の開発が,本研究の目的である.具体的には,広範囲一括で転写するためにロール形やブローチ形の金型を設計する.または,積層微細構造を転写するために,成膜プレス反復機構やせん断変形機構を設計して,それぞれの転写工程を実現することである.また,一般的な転写の基礎技術も深耕することも必要である.広範囲に転写可能な新たな金型材料の開発が不可避であり,たとえばロール形には隙間変動を吸収する弾性材料のゴム金型が必要である.最後に光学計算を行い,要求される形状の金型設計を行う.

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2010 2009 2008

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] Iterative roller imprint of multilayered nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, S. Sugimoto, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng. Vol. 87

      ページ: 1543-1545

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures2010

    • 著者名/発表者名
      Hattori, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron.Eng. Vol. 87

      ページ: 1546-1549

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Iterative imprint for multilayered nanostructures by feeding, vacuum forming, and bonding of sheets2008

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, K. Nagato, S. Sugimoto, K. Tsuchiya, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol B Vol. 26

      ページ: 1753-1756

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Single-pass forming for three-dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films2008

    • 著者名/発表者名
      T. Hamaguchi, H. Yonemoto, K. Nagato, K. Tsuchiya, M. Nakao
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol B Vol. 26

      ページ: 1771-1774

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sub-wavelength Pitched Cubic Mosaic Multi-layer Precisely Pressed by Nano-features Mold for Multi-functional Optical Elements2008

    • 著者名/発表者名
      M. Nakao, K. Nagato, H. Suzuki, T. Nishino, H. Yonemoto, H. Kaito, T. Hamaguchi, K. Tsuchiya
    • 雑誌名

      The 41st CIRP Conference on Manufacturing Systems Vol. 1

      ページ: 449-452

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local Synthesis of Tungsten Oxide Nanowires by Current Heating of Designed Micropatterned Wires2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, Y. Kojima, K. Kasuya, H. Moritani, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 雑誌名

      Applied Physics Express Vol. 1

      ページ: 014005:1-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heat transfer in injection molding for reproduction of sub-micron-sized features2008

    • 著者名/発表者名
      M. Nakao, K. Tsuchiya, T. Sadamitsu, Y. Ichikohara, T. Ohba, T. Ooi
    • 雑誌名

      The International Journal of Advanced Manufacturing Technology Vol. 38

      ページ: 426-432

    • 査読あり
  • [学会発表] 繰返しローラインプリントを用いた積層ナノ構造の製造2010

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介、杉本俊太郎、濱口哲也、中尾政之
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2010-03-19
  • [学会発表] 射出成形を用いた高アスペクト比ナノ構造の転写2009

    • 著者名/発表者名
      服部俊太郎, 長藤圭介, 濱口哲也, 中尾政之
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会, 講演予稿集9a-D-4
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-09
  • [学会発表] 多層一括プレスによるフォトニック回路形成技術の開発2008

    • 著者名/発表者名
      西野俊樹、森井洋、鈴木秀明、笹井健史、土屋健介、濱口哲也、中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会春季講演会
    • 発表場所
      明治大
    • 年月日
      2008-03-17

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公開日: 2011-06-18   更新日: 2016-04-21  

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