積層微細構造を広範囲一括で金型転写する技術の開発

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19106003
• 研究種目: 基盤研究(S)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 中尾 政之 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90242007)
• 研究分担者: 濱口 哲也 東京大学, 大学院・工学系研究科, 特任教授 (90345083) ; 土屋 健介 東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (80345173)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2011
• キーワード: ナノ・マイクロ加工 / 機械工作・生産工学 / 精密部品加工 / 超精密金型転写

研究概要

高効率光学素子のための積層微細構造を安価に製造する方法として,型転写することを試みた.具体的には,薄膜に微細構造を転写し,それを積層する繰返し積層法と,あらかじめ屈折率の異なる材料を積層したものに高速で型をプレスし,同時に型転写する一括せん断法の2種類である.また,ロールを用いて連続で微細構造を型転写する方法も開発した.

研究成果

• [雑誌論文] Injection compression molding of high-aspect-ratio nanostructures (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol. B 巻: Vol.29 ページ: 06FG10-1-4
  • 査読あり
• [雑誌論文] Iterative roller imprint of multilayered nanostructures (2010)
  • 著者名/発表者名: K. Nagato, S. Sugimoto, T. Hamaguchi, M. Nakao
  • 雑誌名: Microelectron. Eng. 巻: Vol.87 ページ: 1543-1545
  • 査読あり
• [雑誌論文] Rapid injection molding of high-aspect-ratio nanostructures (2010)
  • 著者名/発表者名: S. Hattori, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
  • 雑誌名: Microelectron. Eng. 巻: Vol.87 ページ: 1546-1549
  • 査読あり
• [雑誌論文] Iterative imprint for multilayered nanostructures by feeding, vacuum forming, and bonding of sheets (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Suzuki, K. Nagato, S. Sugimoto, K. Tsuchiya, T. Hamaguchi, M. Nakao
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol B 巻: Vol.26 ページ: 1753-1756
  • 査読あり
• [雑誌論文] Single-pass forming for three-dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Hamaguchi, H. Yonemoto, K. Nagato, K. Tsuchiya, M. Nakao
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol B 巻: Vol.26 ページ: 1771-1774
  • 査読あり
• [雑誌論文] Sub-wavelength Pitched Cubic Mosaic Multi-layer Precisely Pressed by Nano-features Mold for Multi-functional Optical Elements (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Nakao, K. Nagato, H. Suzuki, T. Nishino, H. Yonemoto, H. Kaito, T. Hamaguchi and K. Tsuchiya
  • 雑誌名: The 41st CIRP Conference on Manufacturing Systems 巻: Vol.1 ページ: 449-452
  • 査読あり
• [雑誌論文] Local Synthesis of Tungsten Oxide Nanowires by Current Heating of Designed Micropatterned Wires (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Nagato, Y. Kojima, K. Kasuya, H. Moritani, Tetsuya Hamaguchi, and Masayuki Nakao
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: Vol.1 ページ: 1-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Heat transfer in injection molding for reproduction of sub-micron-sized features (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Nakao, K. Tsuchiya, T. Sadamitsu, Y. Ichikohara, T. Ohba, T. Ooi
  • 雑誌名: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 巻: Vol.38 ページ: 426-432
  • 査読あり
• [学会発表] 光導波路のための高速せん断加工の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 中林良太、下田誠、長藤圭介、井ノ上泰樹、千足昇平、丸山茂夫、濱口哲也、中尾政之
  • 学会等名: 2011年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 首都大学東京南大沢キャンパス
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] 光学素子のための積層微細構造の製造 (2011)
  • 著者名/発表者名: 下田誠、長藤圭介、濱口哲也、中尾政之
  • 学会等名: 第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(日本機械学会)
  • 発表場所: タワーホール船堀
  • 年月日: 20110926-27
• [学会発表] 繰返しローラインプリントを用いた積層ナノ構造の製造 (2010)
  • 著者名/発表者名: 長藤圭介、杉本俊太郎、濱口哲也、中尾政之
  • 学会等名: 2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 2010-03-19
• [学会発表] 射出成形を用いた高アスペクト比ナノ構造の転写 (2009)
  • 著者名/発表者名: 服部俊太郎、長藤圭介、濱口哲也、中尾政之
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-09
• [学会発表] 多層一括プレスによるフォトニック回路形成技術の開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 西野俊樹、森井洋、鈴木秀明、笹井健史、土屋健介、濱口哲也、中尾政之
  • 学会等名: 精密工学会春季講演会
  • 発表場所: 明治大
  • 年月日: 2008-03-17
• [備考]
  • URL: http://hockey.t.u-tokyo.ac.jp/