研究課題
ZnO、AlNについて、質量数変調人工超格子の作製、および、それらの二次イオン質量分析法(SIMS)による評価を中心とした研究を実施した。1.ZnO質量数変調人工超格子の作製PLD法を用いて、亜鉛、酸素の質量数を変調させた[(^<64>ZnO)_x/(^<68>ZnO)_y]_z、[(Zn^<16>O)_x/(Zn^<18>O)_y]_zを合成した。同位体亜鉛、同位体酸素を制御した焼結体を合成し、これらを交互にターゲットとして利用し、積層構造を作製した。同位体酸素を制御した焼結体は、H_2^<18>Oを用いた水溶液プロセスにより合成したZn^<18>O粉末を原料とした。2.AlN質量数変調人工超格子の作製MBE法を用いて、窒素の質量数を変調させた[(Al^<14>N)_x/(Al^<15>N)_y]_zを合成した。アルミニウムはK-cellから供給し、^<14>Nと^<15>Nはそれぞれ独立したラジカルガンから供給した。同位体窒素比は、ラジカルガンのシャッター開閉により制御した。3.分析・評価質量数変調人工超格子の構造を評価するには、SIMSが有用であることから、作製した質量数変調人工超格子の一次イオンのイオンミキシングに関わる効果を評価した。その結果、ミキシングの効果は2〜3nm程度、ラフネスの効果は膜厚の0.3%程度であることが判明した。以上のことを考慮した結果、窒素イオンを同位体変調した試料では、2nm周期程度の試料で急峻な同位体界面が形成されていることが判明した。
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Appl. Phys. Lett. 94
ページ: 0421041-1-3
Crystal Growth & Design 9
ページ: 1219-1224
Chem. Mater. 21
ページ: 144-150
J. Mater. Res. 23
ページ: 3269-3272
Jpn. J. Appl. Phys. 47
ページ: 7848-7850
Current Sci. 95
ページ: 778-782
ページ: 2293-2295
Chem. Communication 39
ページ: 4729-4731
Appl. Phys. Express 1
ページ: 071201-1-3
International J. Nanotech. 5
ページ: 708-721
Appl Phys. Lett. 92
ページ: 232108-1-3
Adv. Mater. 20
ページ: 1710-1715
Phys. Rev. B 78
ページ: 092107
Phys. Rev. B 77
ページ: 064107
