| 研究課題/領域番号 |
19201027
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
藤本 公三 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70135664)
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| 研究分担者 |
安田 清和 大阪大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00210253)
松嶋 道也 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (90403154)
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| キーワード | デバイス実装 / 自己組織化 / 金属フィラー / 溶融凝集 / フリップチップ接合 / アンダーフィル |
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| 研究概要 |
本研究で提唱する自己組織化実装において、樹脂中の溶融金属フィラーの凝集メカニズムが最も重要となる。本年度は、金属フィラーの酸化膜分解に伴う界面エネルギー変化による金属フィラーの流動現象の解明を行うとともに、樹脂中の金属フィラーの溶融・凝集挙動にとって最も重要なプロセス因子である樹脂特性(粘性特性、還元性)と実装性の関係について検討を行い、次の事項を明確にした。
1)金属フィラーの酸化膜分解に伴う界面エネルギー変化のモデル化を行い、粘性流体解析に組み込んだ解析結果と金属フィラーの樹脂中での挙動観察との対比により、金属フィラーの流動現象を明確にした。
2)樹脂の初期粘度を高めることにより、マスク印刷により供給した金属フィラー含有樹脂のだれ性が改善されることを実験により明確にした。
3)供給した金属フィラーの酸化膜厚が厚くなると、溶融業種が困難となることを実験的に確認し、金属フィラーの酸化膜厚と樹脂中に含有させた活性剤の活性力を適正に制御することが重要であることを明確にした。
4)樹脂中の金属フィラーの均一分散が自己組織化にとって非常に重要である。このフィラー分散性の評価を統計処理による透視画像におけるフィラー画像から行う方法を提唱した。
5)透視画像におけるフィラー面積率による評価方法を用いて、マスク印刷のプロセス因子(印刷距離、印刷速度など)とフィラー分散性の関係を明確にした。
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