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2009 年度 自己評価報告書

ナノビーム誘起堆積プロセスによる可干渉電子源の創製

研究課題

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研究課題/領域番号 19206008
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関大阪大学

研究代表者

高井 幹夫  大阪大学, 極限量子科学研究センター, 教授 (90142306)

研究期間 (年度) 2007 – 2010
キーワードビーム応用
研究概要

本研究の目的は、電子およびイオンビームをその限界まで集束し、局所的な物理・化学反応を用いる「ナノビーム誘起堆積プロセス技術」を開発し、この技術により可干渉電子線を放出できる真空ナノエレクトロニクスのための電界放出電子源を創製することである。このためにはナノビーム誘起堆積プロセスで作製した固体中の電子のコヒーレンスと、真空中に電界放出された電子のコヒーレンスの関係を明らかにし、コヒーレンスの良い電子線を放出する可干渉電子源を実現する条件を明らかにする。
固体中では様々な散乱によって電子のコヒーレンスが失われるため、可干渉電子線を得るには、ナノメートルオーダーまで接近した2つの放出サイトをもつ電子源を実現する必要がある。このようなナノ間隙エミッタの実現は、従来の半導体プロセスでは不可能であり、マスクレスナノビームプロセスによる電子源のナノメートル精度の加工が必要となる。さらに、堆積金属中の電子のコヒーレンス長、電子源の電子放出特性、電子放出サイトを明らかにし電子の干渉長のプロセス条件や温度に対する依存性の評価を行い、室温でコヒーレント電子線を安定に放出する可干渉電子源を創製する。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2010 2009 2008 2007 2006

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (5件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Electron wave interference induced by electrons emitted from Pt field emitter fabricated by focused-ion-beam-induced deposition2010

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, T. Matsuo, F. Wakaya, M. Takai
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol B28(in press)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] In situ transmission electron microscopy observation of electron-beam-deposited Pt field emitter during field emission and field evaporation2010

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, N. Matsubara, S. Ichikawa, F. Wakaya, M. Takai
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol B28(in press)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Superposition of Fringelike-Electron-Emission Pattern from Radical-Oxygen-Gas Exposed Pt Field Emitter Fabricated by Electron-Beam-Induced Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, S. Nishihara, N. Matsubara, S. Ichikawa, F. Wakaya, M. Takai
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol B27

      ページ: 721-724

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Transmission-Electron-Microscopy Observation of Pt Pillar Fabricated by Electron-Beam-Induced Deposition2009

    • 著者名/発表者名
      Katsuhisa Murakami, Naoki Matsubara, Satoshi Ichikawa, Toshiya Kisa, Takahito Nakayama, Kunio Takamoto, Fujio Wakaya, Mikio Takai, Silke Petersen, Brigitte Amon, Heiner Ryssel
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 48(in press)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of Fringe-Like Electron-Emission Pattern in Field Emission from Pt Field Emitter Fabricated by Electron-Beam-Induced Deposition2007

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, F. Wakaya, M. Takai
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B25, (4)

      ページ: 1310-1314

    • 査読あり
  • [学会発表] Electron-wave interference induced by electrons emitted from Pt field emitter fabricated by focused-ion-beam-induced deposition2009

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, T. Matsuo, F. Wakaya, M. Takai
    • 学会等名
      The 22^nd International Vacuum Nanoelectronics Conference 2009 (IVNC2009)
    • 発表場所
      Hamamatsu, Japan
    • 年月日
      20090720-20090724
  • [学会発表] Transmission-electron-microscope observation of Pt pillar fabricated by electron-beam-induced deposition2008

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, N. Matsubara, S. Ichikawa, T. Nakayama, K. Takamoto F. Waka Takai, S. Petersen, H. Ryssel
    • 学会等名
      The 21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC08)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 年月日
      20081027-20081030
  • [学会発表] Electron Coherence Length in Electron-Beam-Deposited Pt2008

    • 著者名/発表者名
      F. Wakaya, T. Nakayama, K. Takamoto, T. Takeuchi, N. Matsubara, K. Murakami, S. Ichikawa, S. Abo, M. Takai
    • 学会等名
      The 34th International Conference on Micro and Nanoengineering 2008 (MNE2008)
    • 発表場所
      Athens, Greece
    • 年月日
      20080915-20080918
  • [学会発表] Observation of Fringelike Electron-Emission-Pattern From Radical-Oxygen-Gas Exposed Pt Field Emitter Fabricated by Electron-Beam-Induced Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, S. Nishihara, N. Matsubara, S. Abo, F. Wakaya, M. Takai
    • 学会等名
      The 21st International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2008)
    • 発表場所
      Wroclaw, Poland
    • 年月日
      20080713-20080717
  • [学会発表] Effect of radical oxygen gas exposure on Pt field emitter fabricated by electron-beam induced deposition2007

    • 著者名/発表者名
      K. Murakami, S. Abe, S. Nishihara, S. Abo, F. Wakava, M. Takai
    • 学会等名
      The 20th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC2007)
    • 発表場所
      Chicago, Illinois, USA
    • 年月日
      20070708-20070712
  • [産業財産権] 電子波干渉ナノメートル電子源の作成法とこれを用いた素子2006

    • 発明者名
      高井幹夫
    • 権利者名
      高井幹夫
    • 産業財産権番号
      2006-085322
    • 出願年月日
      2006-03-27

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公開日: 2011-06-18   更新日: 2016-04-21  

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