ナノ構造の創製とその機能化に関する研究

2009 年度 自己評価報告書

• 研究課題/領域番号: 19206016
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 石原 直 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00422329)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2010
• キーワード: ナノメカニクス / マイクロ・ナノデバイス / 三次元ナノ構造 / ナノ振動子 / センシングデバイス / ナノ加工・計測 / 機械共振特性 / 電子ビーム・イオンビーム

研究概要

三次元ナノメカニカル構造としてナノ振動子を取り上げ,振動子構造の設計法,三次元ナノ構造作製技術の開発,機械振動測定法の開発と共振特性の解明,およびそのセンシングデバイスへの応用など,ナノ振動子の創製とその機能化のための基盤技術の構築を進めた.

研究成果

• [雑誌論文] Evaluations of the hopping growth characteristics on 3-D nanostructure fabrication using focused-ion-beam (2009)
  • 著者名/発表者名: R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
  • 雑誌名: J.Vac.Sci.Technol. B27 ページ: 2698-2701
  • 査読あり
• [雑誌論文] Evaluating Method for Quality Factor of Nano-resonator by Electron Beam (2009)
  • 著者名/発表者名: H. Ashiba, S. Warisawa, S. Ishihara
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 48 ページ: 06FG08-1-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Direct Actuation of GaAs Membrane with the Microprobe of Scanning Probe Microscopy (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Tamaru, K. Nonaka, M. Nagase, H. Yamaguchi, S. Warisawa, S. Ishihara
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 48 ページ: 06FG06-1-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Improved resonance characteristics of GaAs beam resonators by epitaxially induced strain (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Yamaguchi, K. Kato, Y. Nakai, K. Onomitsu, S. Warisawa, S. Ishihara
  • 雑誌名: App.Phys.Lett. 92 ページ: 251913-1-3
  • 査読あり
• [学会発表] High-sensitive charge detection using anti-symmetric vibration in coupled micromechanical resonators (2009)
  • 著者名/発表者名: N. Kitajima, H. Okamoto, T. Kamada, K. Onomitsu, S. Warisawa, S. Ishihara, H. Yamaguchi
  • 学会等名: 22nd Intern'l Microprocesses & Nanotechnology Conf. (MNC2009)
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 2009-11-18
• [備考]
  • URL: http://www.nanome.t.u-tokyo.ac.jp
• [産業財産権] 薄膜振動子およびその製造方法 (2009)
  • 発明者名: 永瀬雅夫, 山口浩司, 石原直, 割澤伸一, 田丸耕二郎
  • 権利者名: 東京大学,日本電信電話(株)
  • 産業財産権番号: 特許,特願2009-078589
  • 出願年月日: 2009-03-27
• [産業財産権] 微小機械共振器ならびに微小機械検出素子 (2008)
  • 発明者名: 石原直, 割澤伸一, 加藤慶一, 山口浩司, 小野満恒二
  • 権利者名: 東京大学, 日本電信電話 (株)
  • 産業財産権番号: 特許特願2008-70933
  • 出願年月日: 2008-03-19