| 研究課題/領域番号 |
19206019
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
遠藤 勝義 大阪大学, 工学研究科, 教授 (90152008)
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| 研究分担者 |
東 保男 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 機械工学センター, 准教授 (70208742)
打越 純一 大阪大学, 工学研究科, 助教 (90273581)
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| 連携研究者 |
久米 達哉 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 機械工学センター, 助教 (40353362)
江並 和宏 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 機械工学センター, 助教 (00370073)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2010
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| キーワード | 形状測定 / 高精度ミラー / 非球面光学素子 / 法線ベクトル / 5軸同時制御 / 形状誤差 / 絶対形状測定 / 超精密加工 |
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| 研究概要 |
第三世代放射光施設やX線自由電子レーザー、極紫外光リソグラフィーから求められる次世代高精度非球面ミラーを製作するために、高精度光学素子の非球面形状を、測定精度1nmPV以上、スロープエラー0.1μrad以下、測定時間5min/sample以下で測定できる傾斜角積分型超精密形状測定法を開発した。本装置によってR=400mmの球面ミラーの形状を計測し、繰返し精度が1nm以上であることを明らかにした。また、同じ球面ミラーを位相シフトファイゾー干渉計と三次元測定機で測定した結果、それぞれの誤差範囲10nm程度で測定形状が一致した。絶対形状測定の実現には、系統誤差を解明することが不可欠である。
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