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2008 年度 実績報告書

硬質膜のなじみ過程制御による超低摩擦と超耐摩耗を両立した硬質膜設計指針の確立

研究課題

研究課題/領域番号 19206020
研究機関名古屋大学

研究代表者

梅原 徳次  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70203586)

研究分担者 上坂 裕之  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90362318)
野老山 貴行  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20432247)
吉野 雅彦  東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (40201032)
木村 英彦  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 講師 (60345923)
赤垣 友治  八戸工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (20149909)
キーワードトライボロジー / 機械要素
研究概要

開発された表面波励起プラズマにより成膜された種々の機械的特性と構造を有するDLC膜において,昨年度に試作された「雰囲気制御高温下なじみ過程観察装置」を用いて,摩擦面の微小時の変形と破壊によるなじみ過程にともなう,平滑化などの摩擦表面の幾何学的形状の変化,グラファイト化などの摩擦表面の構造変化及び相手面への移着膜の生成などを,AFM及びラマン分光分析により定量的に明らかにした.また,得られた観察結果を受けて,潤滑下でのDLC膜の損傷形態図を作成した.具体的には,ケロシン滴下状態において,「コンパクト摩擦試験対」において,10^4回まで繰り返し衝突摩擦した後,FE-SEM装置でピン及びディスク試験片の摩耗痕直径から摩耗痕体積を推定し,ディスクの摩耗に及ぼす衝撃荷重,衝突角度及び雰囲気の影響を明らかにした.既存のSEMに,EDS装置を取り付け,炭素鋼ピン先端へのDLC膜の移着の様子を観察し移着物の形態,組成を明らかにした.移着物の分析としてEBSDによる微小X線解析が行われ移着物の結晶化の度合いの確認を試みた.更に,摩擦後に摩擦面のラマン分光分析によりDLC膜のID/IG比とGピークのシフト量及びGピークの半値幅からグラファイト化の程度を明らかにした.以上の得られた結果を摩耗形態図(なじみ形態図)にまとめた.

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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