| 研究課題/領域番号 |
19340064
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| 研究機関 | 早稲田大学 |
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研究代表者 |
鷲尾 方一 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (70158608)
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| 研究分担者 |
広瀬 立成 早稲田大学, 理工学術院, 客員教授(専任扱い) (70087162)
浜 義昌 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (40063680)
柏木 茂 大阪大学産業, 科学研究所, 助教 (60329133)
神谷 好郎 早稲田大学, 理学部, 助教 (90434323)
黒田 隆之助 (独)産業技術総合研究所, 研究員 (70350428)
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| キーワード | 軟X線 / 逆コンプトン散乱 / 高品質ビーム / 顕微鏡 / 高品質ビーム / 高輝度レーザー |
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| 研究概要 |
本研究では、目的の実現に向け、以下のように実験的観点から研究を進めてきた。
・高量子効率のCs2Teカソードシステムの構築を実施し、高性能な加速器空洞の製作に成功した。具体的には空洞のQ値として12,000という非常に高性能な空洞政策に成功した。また、空洞の周波数調整に必要なチューナーシステムも開発し、高い電場勾配を持つ新規の超高真空空洞の製作を完了した。これにより、RFパワー10WWにおいて5MeVを超える電子生成に成功するとともに、5nC近い単バンチ電子ビームの生成にも成功し、来年度のマルチパルス発生への目処をつけることができた。
・ピコ秒Nd:YLFレーザーの高輝度化技術を更に発展させ、1047nmの基本波を30mJにまで安定増幅し、マルチパルス化の基礎検討を実施し光学設計を完了、次年度に具体的なシステム構築を行える状況となった。
・単バンチで発生させた電子ビームについては、詳細な計測を必要としておリ、今年度は電荷量及びエネルギーの入射位相依存性について、詳細なデータを得た。
・種々のパラメータを調整し、高度な電子ーレーザー衝突を実現するための高真空チェンバーを製作し、400eVを超えるエネルギーの軟X線の発生を確認した。但し、電子ビームの制御が未だ充分でなく、大きなバックグランドが発生した。そのため来年度以降、電子ビーム制御について更に検討を行っていく必要があることが明確になった。
・一方、軟X線の顕微鏡応用の基礎検討としてDeepUVレジストの高感度化を目指した開発も実施し、UVプレ照射法を新たに開発し、数μJICTn2程度まで市販の化学増幅型レジストの感度を向上させることに成功した。
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