| 研究課題/領域番号 |
19360006
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
田渕 雅夫 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90222124)
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| 研究分担者 |
竹田 美和 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 工学研究科 (20111932)
宇治原 徹 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (60312641)
渕 真悟 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60432241)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| キーワード | X 線回折・散乱 / 半導体結晶成長 / その場観察 / ヨハンソン分光結晶 |
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| 研究概要 |
究極の半導体デバイス開発に必要な、1原子層の精度で界面を評価するX線CTR散乱測定の新しい測定系の開発を行った.固定された試料結晶が焦点に来るように集光されたX 線源と2次元の検出器を組み合わせることで、1) 実験室レベルのX 線源で実現可能、2) 可動部を不要、3) 他の装置等との組み合わせ可能、などの様々な利点を持つ測定系が構築でき、従来のより大型の装置と遜色のない性能をえた.
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