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2009 年度 実績報告書

プラズマ支援レーザCVD法による5H-BNミクロコーン薄膜の大気中電界電子放出

研究課題

研究課題/領域番号 19360022
研究機関独立行政法人物質・材料研究機構

研究代表者

小松 正二郎  独立行政法人物質・材料研究機構, 半導体材料センター, グループリーダー (70343845)

キーワードプラズマ / レーザ / 電子放出 / BN / 薄膜
研究概要

(1)「BNミクロコーン電子エミッターによる大気中電界電子放出」が、非線形共同現象であることを、新たに考案した力学系モデルを実験結果に適用することにより解明した(論文投稿中)。
(2)導電性の起源の解明。本来絶縁体である高密度BNが電子放出を可能にするような導電性を持つことは不可解であるが、これは、Siのレーザー支援ドーピングによる半導体化(p型)によるものであることを実験的に明らかにできた(論文化)。
(3)BNミクロコーンエミッター性能の基板材質依存性の解明。本BNがSiドープのP型半導体であることから、ショットキー障壁を伴う接合になる材質は避けるべきであること、n型基板を採用したの場合の整流効果を設計上考慮しなければならないこと等、実験的に明らかにできた(論文化)。
(4)ミクロコーン形成機構が、基本的にデポジションではなく、アブレーション(光励起エッチング)であることが、PCVDによるBN薄膜のPost-Depsotion Laser Irradiation手法(新開発)によって、明らかにできた(論文準備中)。
(5)紫外光励起による高密度相への相変化を実験的に明らかにできた(論文投稿中)。
(6)高密度相BN多形の新しい構造を2種類発見した(論文投稿中)。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] P-type sp3-bonded BN/n-type Si heterodiode solar cell fabricated by laser-plasma synchronous CVD method2009

    • 著者名/発表者名
      Komatsu, S.; Sato, Y.; Hirano, D.; Nakamura, T.; Koga, K.; Yamamoto, A.; Nagata, T ; Chikyo, T.; Watanabe, T.; Takizawa, T.; Nakamura, K.; Hashimoto, T.; Shiratani, M.
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys. 42

      ページ: 225107, 225112

    • 査読あり
  • [雑誌論文] First-Principles Study of 10H-BN and 10H-AlN2009

    • 著者名/発表者名
      K.KOBAYASHI, S.KOMATSU
    • 雑誌名

      Journal of the Physical Society of Japan Vol.78

      ページ: 44706-1, 44706-8

    • 査読あり
  • [学会発表] 30H-BNポリタイプ構造の第一原理計算/First-principles study of 30H-BN polytypes2010

    • 著者名/発表者名
      小林一昭, 小松正二郎
    • 学会等名
      日本金属学会2010年春期大会
    • 発表場所
      筑波大学,茨城県つくば市
    • 年月日
      2010-03-28
  • [学会発表] BN/Siヘテロ接合太陽電池/BN/Si heterodiode solar cell fabricated by laser-plasma synchronous CVD method2010

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 学会等名
      第3回電気電子工学セミナー(招待)
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2010-03-23
  • [学会発表] 高密度BN薄膜のプラズマ・レーザプロセスによる成長原理と半導体化/growth mechanism and doping of dense-phase BN prepared by plasma-laser synchronous processing2010

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 学会等名
      仙台"プラズマフォーラム" プラズマナノバイオニクスの基礎研究(招待)
    • 発表場所
      東北大学大学院工学研究科,仙台市
    • 年月日
      2010-03-13
  • [学会発表] レーザ・プラズマ同期CVDにより作製したP型sp3-結合性BN/n型Siヘテロダイオード太陽電池/P-type sp3-bonded BN/n-type Si heterodiode solar cell fabricated by laser-plasma synchronous CVD method2010

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 学会等名
      第27回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館,横浜市
    • 年月日
      2010-02-03
  • [学会発表] 12H-AlNの第一原理計算と並列化(OpenMP)/First-principles study of 12H-AlN and parallelization (OpenMP)2009

    • 著者名/発表者名
      小林一昭, 小松正二郎
    • 学会等名
      物性研究所 短期研究会 計算物理学
    • 発表場所
      東京大学物性研究所,千葉県柏市
    • 年月日
      2009-12-10
  • [学会発表] レーザー支援プラズマCVD法による導電性sp3結合性BN薄膜の作製と特性評価/Characteristics of conductive sp3-bonded BN film by the laser-assisted plasma CVD2009

    • 著者名/発表者名
      中村拓也,小松正二郎,他
    • 学会等名
      日本電子材料技術協会 第46回秋期講演大会
    • 発表場所
      日本セラミック協会ビル,東京都新宿区
    • 年月日
      2009-11-20
  • [学会発表] レーザ・プラズマ同期CVDにより作製したP型sp3-結合性BN/n型Siヘテロダイオード太陽電池/P-type sp3-bonded BN/n-type Si heterodiode solar cell fabricated by laser-plasma synchronous CVD method2009

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 学会等名
      AEPSE 2009(招待)
    • 発表場所
      BEXCO Convention Center,釡山,韓国
    • 年月日
      2009-09-22
  • [学会発表] 導電性sp3結合性BN薄膜のレーザー支援プラズマCVD法による低温合成/Low-temperature synthesis of conductive sp3-bonded nH-BN films (n=5,6,…) by laser-assisted plasma CVD2009

    • 著者名/発表者名
      中村拓也, 小松正二郎, 他
    • 学会等名
      2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学,富山市
    • 年月日
      2009-09-11

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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