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2007 年度 実績報告書

分光ミュラー行列偏光計によるナノ形状計測

研究課題

研究課題/領域番号 19360062
研究機関東京農工大学

研究代表者

大谷 幸利  東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究院, 准教授 (10233165)

研究分担者 梅田 倫弘  東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究員, 教授 (60111803)
水谷 康弘  東京農工大学, 大学院・工学府, 教務職員 (40374152)
キーワード超精密計測 / ナノ形状 / 偏光解析 / ミュラー行列
研究概要

平成19年度は3次元ナノ構造から反射散乱光の偏光状態を計測するために分光ミュラー行列偏光計の構築とこのナノ構造によって生じる反射散乱光を厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析を行うことによって偏光計測の指標を求めることを目標として研究を推進した.偏光情報,つまり,複屈折,旋光,二色性,円二色性,偏光解消特性を高精度に実時間でかつその場評価を可能とする偏光計を構築するため,ここでは検出器にライン型分光器を用いた解析システムを構築した.白色光源としてストークスパラメータとミュラーマトリックスにより偏光解析を実際の実時間スペクトルミュラーマトリックス偏光計が完成した.また,三次元ナノ構造からの反射散乱光をシミュレーションするために,厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析法を確立した.ここでは従来の解析に用いられている2つの要素のエリプソパラメータではなく,ストークスパラメータとして4つのパラメータを扱うことで,ナノ構造がほんのわずかに変化するだけで偏光の変化を捉えることが可能となった.これより従来にない偏光解消をも考慮した偏光計測の指標を求める開発でききた.同時に,ナノ形状の標準サンプルを用いてAFMによる3次元形状計測を行うことによって真のデータを得て,この構造と数値解析法の結果と比較することでキャリブレーション法を提案した.

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2008

すべて 学会発表 (3件)

  • [学会発表] ミュラー行列による微細周期構造の光学特性の評価2008

    • 著者名/発表者名
      大谷 幸利
    • 学会等名
      応用物理学会 春季大会
    • 発表場所
      日本大学理工学部・千葉
    • 年月日
      2008-03-29
  • [学会発表] ライン型分光ミュラー行列偏光計の開発2008

    • 著者名/発表者名
      大谷 幸利
    • 学会等名
      応用物理学会 春季大会
    • 発表場所
      日本大学理工学部・千葉
    • 年月日
      2008-03-29
  • [学会発表] ナノ構造評価のためのミュラー行列偏光計2008

    • 著者名/発表者名
      大谷 幸利
    • 学会等名
      精密工学会 春季大会
    • 発表場所
      明治大学・神奈川
    • 年月日
      2008-03-18

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公開日: 2010-02-04   更新日: 2016-04-21  

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