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2008 年度 実績報告書

分光ミュラー行列偏光計によるナノ形状計測

研究課題

研究課題/領域番号 19360062
研究機関東京農工大学

研究代表者

大谷 幸利  東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究院, 准教授 (10233165)

キーワード超精密計測 / ナノ形状 / 偏光計 / ミュラー行列
研究概要

平成20年度は3次元ナノ構造から反射散乱光の偏光状態を計測するために分光ミュラー行列偏光計の構築とこのナノ構造によって生じる反射散乱光を厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析を行うことによって偏光計測の指標を求めることを目標として研究を推進した.昨年度完成したミュラー行列偏光計測システムによって偏光情報,つまり,複屈折,旋光,二色性,円二色性,偏光解消特性を高精度に実時間でかつその場評価を可能となったため,ここでは高速化,分光計測,さらには,デコンボジッションによる偏光パラメータの分離などのソフトウエアの充実をはかった.また,三次元ナノ構造からの反射散乱光をシミュレーションは昨年に引き続き,厳密結合波解析(RCWA)と時間領域差分法(FTDT)によって数値解析法を確立した.ここではミュラー行列の16個のパラメータを扱うことで,ナノ構造がほんのわずかに変化するだけで偏光の変化を捉えることが可能を示した.さらに,偏光解消についても取り扱うことができるようになった.

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Surface profile detection with nanostructures using a Mueller matrix polarimeter2008

    • 著者名/発表者名
      Yukitoshi Otani, TomohitoKuwagaito, Yasuhiro Mizutani
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 7063

      ページ: 70630Y

    • 査読あり
  • [学会発表] 偏光計測の基礎と応用最前線2009

    • 著者名/発表者名
      大谷幸利
    • 学会等名
      第56回応用物理学関連連合関係講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-30
  • [学会発表] Two-dimensional Measurement of Birefringence Dispersion2008

    • 著者名/発表者名
      Yukitoshi Otani, ToshitakaWakayama
    • 学会等名
      2008 SEM Fall Conference Celebratingthe 60th Birthday of Holography
    • 発表場所
      Springfield, MA, USA
    • 年月日
      2008-10-28
  • [学会発表] Spectroscopic Mueller Matrix Polarimeter by Two Liquid CrystalPolarization Modulator2008

    • 著者名/発表者名
      Makoto Chujo, YukitoshiOtani, Norihiro Umeda
    • 学会等名
      米国光学会 Frontiers in Optics
    • 発表場所
      Rochester、USA
    • 年月日
      2008-10-19
  • [備考]

    • URL

      http://www.tuat.ac.jp/~otani

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公開日: 2010-06-11   更新日: 2016-04-21  

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