| 研究課題/領域番号 |
19360062
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東京農工大学 |
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研究代表者 |
大谷 幸利 東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究院, 准教授 (10233165)
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| 連携研究者 |
梅田 倫弘 東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究院, 教授 (60111803)
水谷 康弘 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 講師 (40374152)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2009
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| キーワード | 超精密計測 / ナノ形状 / 偏光解析 / ミュラー行例 |
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| 研究概要 |
分光ミュラー行列偏光計によるナノ形状計測法を提案した.一般に光は回折限界があるため波長以下の空間的な形状計測は困難である.ここではナノ形状よる偏光状態の変化を検出することで波長以下の形状計測を可能とした.偏光情報の波長特性を高精度に実時間でかつその場評価法の確立とナノ構造を偏光計測結果とRCWAの数値解析と比較することによって従来にない光による超高精度なナノメートルオーダの形状計測システムの開発した.
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