研究課題
基盤研究(B)
半導体製造用真空ロボットの固体潤滑軸受に使用されている二硫化モリブデンスパッタ膜は真空中のみならず大気中でも優れた潤滑特性が要求される。しかし, 大気中では極端に潤滑特性の低下が生じる。本研究では, 摩擦試験と表面分析などによりこの原因が膜に浸入した水分であることを明らかにした。次に, 膜に水が浸入しにくい膜作製法を提案し, 効果があることを検証した。さらに, この考え方を発展させて膜の構造の適正化で格段の性能向上が図れることを実証した。
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J. Phys. D: Appl. Phys Vol.41, No.7
ページ: 074018
