電子線を用いたモアレトポグラフィによる微細構造物の三次元高分解能計測法の開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19360123
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 関西大学
• 研究代表者: 新井 泰彦 関西大学, システム理工学部, 教授 (80131415)
• 連携研究者: 多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840) ; 青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: SEM / モアレトポグラフィ / MEMS / 縞解析

研究概要

ナノテクノロジーにおける定量的な三次元形状評価を実現し, 微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術を開発した. 具体的には,モアレトポグラフィの光源を光から電子線へ改めることによって, 数μm の構造物を数10nm の測定精度で形状計測可能な非接触三次元形状計測技術を補助金申請書に記した計画どうりに開発した.

研究成果

• [雑誌論文] Electric speckle pattern interferometry based on spatial fringe analysis method using two cameras (2008)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 雑誌名: Journal of Modern Optics 55 ページ: 281-296
  • 査読あり
• [雑誌論文] 電子スペックル干渉計測におけるバーチャルスペックルパターンを用いた面内変形計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 雑誌名: 光学 37 ページ: 119-129
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-resolution dynamic measurement using electronic speckle pattern interferometry based on multi-camera technology (2008)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 雑誌名: Optics and Lasers in Enginerring 46 ページ: 733-738
  • 査読あり
• [雑誌論文] バーチャルスペックルパターンを用いた高分解能ダイナミック面内計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 雑誌名: 光学 37 ページ: 600-609
  • 査読あり
• [雑誌論文] 3-D micro-structure measurement method based on shadow moire using scanning electron microscope (2007)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 雑誌名: Experimental analysis of nano and engineering materials and strictures ページ: 609-610
  • 査読あり
• [学会発表] 3-D measurement method based on Wavelet transform by using SEM (2008)
  • 著者名/発表者名: Y.Arai
  • 学会等名: SPIE Optomechatronic Technology 2008
  • 発表場所: San Diego(USA)
  • 年月日: 2008-11-17
• [学会発表] SEMを用いたモアレトポグラフィーによる微小構造物の三次元形状計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦, 小林一也
  • 学会等名: 日本機械学会関西支部第83期定時総会講演会
  • 発表場所: 大阪大学
  • 年月日: 2008-03-14