2008 年度研究成果報告書

ガリウムナイトライド系へテロ接合ホール素子を有する高温走査型磁気顕微鏡の開発

研究課題

研究課題/領域番号	19360139
研究種目	基盤研究(B)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	電子・電気材料工学
研究機関	東京工業大学
研究代表者	サンドゥーアダルシュ東京工業大学, 量子ナノエレクトロニクス研究センター, 准教授 (80276774)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	磁性 / 走査プローブ顕微鏡 / 磁区 / スピンエレクトロニクス / 磁気記録
研究概要	高温における強磁性体の磁区構造の観察を目的とし、高温走査型ホールプローブ顕微鏡(High Temperature Scanning Hall Probe Microscopy, HT-SHPM)用プローブを作製した。高温観測のためのプローブにAl 組成比、Siドープの有無など構造の異なるAlGaN/GaNの温度特性を調べ、感磁部の大きさが2μm×2μmであるホールプローブを作製した。作製したプローブの電気特性を評価し、ホール係数は25℃で0.0077Ω/G、400℃においては0.0046Ω/Gという結果を得た。また、HT-SHPMを用いて100℃以上における強磁性体ガーネット薄膜の磁区観察、外部磁界印加時の磁区観察に成功した。