| 研究概要 |
本研究では、添加物を利用した異方性ならびに等方性Nd-Fe-B系磁石膜の磁気特性の改善について検討した。加えて、小型デバイスへの応用についても検討した。以下に得られた結果の概要を示す。
(1)異方性厚膜磁石
Ga添加したターゲットをもとに垂直異方性Nd-Fe-B系磁石膜をPLD法により作製し、その磁気特性ならびに結晶構造について検討した。その結果、Nd_<2.6>Fe_<14>B+Ga_<0.5at.%>ターゲットを用いた際、最も優れた磁気特性が得られた。(Mr:0.95T、Hc:876kA/m、(BH)_<max>:146kJ/m^3)Ga添加した全ての試料において、垂直異方化に起因するNd_2Fe_<14>B相の(004)、(006)、(008)面のピークが観察された。更に、(008)面と(410)面の反射強度比はNd含有量の増加に伴い大きくなり、垂直方向への配向性の向上が確認された。
(2)等方性厚膜磁石
PLD法により作製した等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石の磁気特性の改善を目的とし,ターゲットへの他元素の添加ならびにパルス熱処理法と添加物を融合させる手法を用いた際の磁気特性ならびに結晶構造への影響を検討した。その結果、Nd_<2.6>Fe_<14>B組成のターゲットを用い作製した試料において,Zr,Nb,Gaを添加することにより,無添加の試料の保磁力に比べ,100～300kA/m程度増加した。加えて、PA法により作製した試料(Nd_<2.6>Fe_<14>B組成)の保磁力は,CA法により作製したものに比べ,200kA/m程度増加した。特にGaを添加した試料では,最大1700kA/m程度の著しく高い値が得られた。
(3)各磁石膜を利用したデバイス
上記試料を摩擦駆動型モータやミリサイズモータへの応用を検討した。
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