研究課題
基盤研究(B)
本研究では、サニャック干渉計を利用して、GHz帯微小縦振動用超高速2次元計測システムを構築した。また、試料表面の傾きや凹凸により焦点ボケに対する対応法を開発した。そして、100倍のレンズを用いて2GHz帯の薄膜バルク波共振子(FBAR)を観測し、本手法の有効性を実証した。さらに、本装置の測定結果に波数空間解析を適用し、FBAR素子における音響的損失発生機構を解明し、本装置の有効性を実証した。
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