GHz帯縦振動を観測可能な2次元レーザプローブの開発

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19360154
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 千葉大学
• 研究代表者: 橋本 研也 千葉大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90134353)
• 連携研究者: 山口 正恆 千葉大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00009664) ; 大森 達也 千葉大学, 大学院・工学研究科, 助教 (60302527)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 弾性表面波 / レーザープローブ / サニャック干渉計 / 縦振動 / バルク弾性波

研究概要

本研究では、サニャック干渉計を利用して、GHz帯微小縦振動用超高速2次元計測システムを構築した。また、試料表面の傾きや凹凸により焦点ボケに対する対応法を開発した。そして、100倍のレンズを用いて2GHz帯の薄膜バルク波共振子(FBAR)を観測し、本手法の有効性を実証した。さらに、本装置の測定結果に波数空間解析を適用し、FBAR素子における音響的損失発生機構を解明し、本装置の有効性を実証した。

研究成果

• [雑誌論文] Quantitative Analysis of Power Leakage in an FBAR Device at the Anti-Resonance Frequency (2010)
  • 著者名/発表者名: F. Thalmayr, K. Hashimoto, M. Ueda, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 49, 7(to be published)
• [雑誌論文] A Multiple-Scan Focusing Method for RF BAW Device Observation by Laser Probe System (2010)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Hashimoto, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 49, 7(to be published)
• [雑誌論文] Frequency Domain Analysis of Lamb Wave Scattering and Application to Film Bulk Acoustic Wave Resonators (2010)
  • 著者名/発表者名: F. Thalmayr, K. Hashimoto, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: IEEE Trans.Ultrason., Ferroelec., and Freq.Contr. (to be published)
• [雑誌論文] Change in Piezoelectric Boundary Acoustic Wave Characteristics with Overlay and Metal Grating Materials (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. L. Wang, K. Hashimoto, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: IEEE Trans.Ultrason., Ferroelec., and Freq.Contr. 57, 1 ページ: 16-22
• [雑誌論文] Focus Adjustment System for a Fast-Scanning and Phase-Sensitive Laser Probe for Radio Frequency Surface and Bulk Acoustic Wave Devices (2009)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Kashiwa, K. Hashimoto, T. Omori, M. Yamaguchi, N. Kasai
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 48, 10 ページ: 108002
• [雑誌論文] Phase-Sensitive and Fast-Scanning Laser Probe System for RF SAW/BAW Devices (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Hashimoto, N. Wu, K. Kashiwa, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: Proc.IUTAM Symposium of Acoustic Waves in Solids (to be published)
• [雑誌論文] Integrated Software for Image Processing in Radio Frequency Surface and Bulk Acoustic Waves Laser Probe System (2009)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Hashimoto, K. Kashiwa, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 48, 8 ページ: 088002
• [雑誌論文] Study on the Frequency Dependence of Lateral Energy Leakage in RF BAW Device by Fast-Scanning Laser Probe System (2009)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Hashimoto, K. Kashiwa, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 48, 7 ページ: 07GG01
• [雑誌論文] Improvement of Detection System for a Fast-Scanning and Phase-Sensitive Laser Probe for Surface Acoustic Wave Devices in 2 GHz Range (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Kashiwa, T. Omori, K. Hashimoto, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 47, 5B ページ: 4108-4110
• [雑誌論文] Wavenumber Domain Analysis of Two-Dimensional SAW Images Captured by Phase-Sensitive Laser Probe System (2007)
  • 著者名/発表者名: K. Hashimoto, H. Kamizuma, M. Watanabe, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 雑誌名: IEEE Trans.Ultrason., Ferroelec., and Freq.Contr. 53, 5 ページ: 1072-1075
• [学会発表] Frequency Domain Analysis of Lamb Wave Scattering and Application to Film Bulk Acoustic Wave Resonators (2010)
  • 著者名/発表者名: F. Thalmayr, K. Hashimoto, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 学会等名: Proc. Fourth Int'l Symp. on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Comm. Systems
  • 発表場所: Chiba, Japan
  • 年月日: 2010-03-04
• [学会発表] Recent Progress in Phase-Sensitive and Fast-Scanning Laser Probe System for RF SAW/BAW Devices (2010)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Hashimoto, K. Kashiwa, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 学会等名: Proc. Fourth Int'l Symp. on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Comm. Systems
  • 発表場所: Chiba, Japan
  • 年月日: 2010-03-03
• [学会発表] Time-Delay Compensation in Detection Electronics of Fast Scanning 2D SAW/BAW Laser Probe (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Omori, K. Kashiwa, K. Hashimoto, M. Yamaguchi
  • 学会等名: Proc. IEEE Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: Rome, Italy
  • 年月日: 2009-09-21
• [学会発表] A Multiple-Scan Focusing Method for RF BAW Device Observation by Laser Probe System (2009)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Hashimoto, T. Omori, M.Yamaguchi
  • 学会等名: Proc. IEEE Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: Rome, Italy
  • 年月日: 2009-09-20
• [学会発表] Focus Adjustment System for a Fast-Scanning and Phase-Sensitive Laser Probe for Radio Frequency Surface and Bulk Acoustic Wave Devices (2009)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Kashiwa, K. Hashimoto, T. Omori, M. Yamaguchi, N. Kasai
  • 学会等名: Proc. IEEE Frequency Control Symposium
  • 発表場所: Besancon, France
  • 年月日: 2009-04-23
• [学会発表] Study on the Frequency Dependence of Lateral Energy Leakage in RF BAW Device by Fast-Scanning Laser Probe System (2008)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Hashimoto, K. Kashiwa, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 学会等名: Proc. IEEE Ultrasonics Symposium
  • 発表場所: Beijing, China
  • 年月日: 2008-11-04
• [学会発表] A Fast Scanning Laser Probe Based on Sagnac Interferometer for RF Surface and Bulk Acoustic Wave Devices (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Hashimoto, K. Kashiwa, T. Omori, M. Yamaguchi, O. Takano, S. Meguro, K. Akahane
  • 学会等名: Technical Digest, IEEE Microwave Symposium
  • 発表場所: Atlanta, Georgia, USA
  • 年月日: 2008-06-18
• [学会発表] Integrated Software for Image Processing in RF SAW/BAW Laser Probe System (2008)
  • 著者名/発表者名: N. Wu, K. Hashimoto, K. Kashiwa, T. Omori, M. Yamaguchi
  • 学会等名: Proc. IEEE Frequency Control Symposium
  • 発表場所: Honolulu, Hawaii, USA
  • 年月日: 2008-05-20